中古 BREWER SCIENCE CEE C100 #9192231 を販売中

BREWER SCIENCE CEE C100 （Chemically Enhanced Etching）は、微細加工プロセスのエッチング機能をサポートするフォトレジスト装置です。このシステムは、樹脂ベースのレジストをエッチングする材料に結合する独自のプロセスを使用します。従来のフォトレジストの場合と同様に、フィルムの絶対的な化学的添付に頼るのではなく、CEE C100ユニットは反応中間体のために特別に設計された前駆体を使用して、基板へのレジストの結合を改善します。BREWER SCIENCE CEE C100マシンは、従来のフォトレジストの機能を実装するために設計されました。基板へのレジストの接着性が向上するため、エッチングウィンドウの精度が向上し、エッチング機能の解像度が向上します。プロセスを開始するために、材料表面はフォトレジスト層との間の化学相互作用を最大化するために準備されています。表面を脱脂した後、独自の前駆体が適用され、その後、表面と反応することが許可されます。この反応は、レジスト層を基板にしっかりと結合させるのに役立ち、エッチングされた特徴のための理想的な層を作成します。フォトレジスト層は、所望の形状のパターン光源にさらされます。露出した領域は化学的に不活性になり、溶解性はエッチング化学物質から保護され、露出していない領域はエッチング媒体にさらされたままになります。エッチング処理は、所望のフィーチャーの希望の深さと形状に進むことができます。エッチング処理が完了すると、残りのフォトレジスト層が基板から取り除かれて作業機能が完了します。CEE C100ツールは、従来のレジストから最大20倍のエッチング抵抗を提供し、エッチングウィンドウの精度とクリーンな機能をエッチングします。全体的に、BREWER SCIENCE CEE C100資産は、エッチング精度、分解能、ケミカルエッチング抵抗、接着、フォトレジストの自己平準化を向上させるためのスタンドです。エッチングウィンドウの精度、均一なエッチング深度、歩留まりの向上により、マイクロファブリケーションのニーズに合わせて精度と再現性を高めたいお客様に最適です。