中古 BREWER SCIENCE CEE 2100 #77373 を販売中
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ID: 77373
ウェーハサイズ: 3" - 6"
Thermal processing system, automatic cassette to cassette, 3"-6" with ORIEL 8094 lamp house, 68810 supply, 8160 timer, 115 volts.
BREWER SCIENCE CEE 2100は、半導体の製造に使用されるフォトレジスト機器で、マイクロエレクトロニクスデバイスなどのエッチング、または「開発」機能を備えています。フォトレジストシステムは、材料をエッチング、または除去して目的の形状やパターンを作成するために、基板の表面に負のイメージを作成するために使用されます。CEE 2100は、高付加価値のマイクロエレクトロニクスデバイスと微細構造部品の製造用に設計された先進的なフォトレジストシステムです。BREWER SCIENCE CEE 2100フォトレジストユニットは、基板の迅速かつ効率的なローディングとアンロードのための真空cha&mbsp; mber、基板ホルダーとウェハハンドリングマシンを備えています。CEE 2100ツールには、ユニークで効率的なデュアルステージイメージングアセンブリも含まれており、基板表面に最適なフォトレジストカバレッジを提供します。フォトレジストストリッパーは、基板表面から余分なフォトレジスト材料を除去するために使用される特殊なツールであり、基板クリーナーは、フォトレジストをコーティングする前に基板表面をきれいにするために使用されます。フォトレジストのプロセスは、コーティングのための基材を準備するために界面活性剤、溶剤、洗剤を使用するプレプロセスまたはプレクリーンサイクルから始まります。プリプロセスサイクルに続いてコーティングサイクルが続き、基板にフォトレジスト材料の均一で正確な層を適用するために使用されます。フォトレジストは、フォトレジストを活性化し、目的のパターンを基板表面に刻印するために使用される電磁放射にさらされます。その後、露出後の治療法を使用してイメージをさらに洗練させます。フォトレジストは硬化して開発され、フォトレジストは望ましいパターンを排除しながら基板表面に残ることができます。開発後、ウェットケミカルバスで部品を洗い流し、基板表面の残りの部分からフォトレジストを溶かして所望のパターンを残します。フォトレジストプロセスの最終ステップには、露出後の基板洗浄と洗浄が含まれ、基板表面から残留フォトレジスト材料を除去するのに役立ちます。BREWER SCIENCE CEE 2100アセットは、高度なマイクロエレクトロニクスおよびマイクロストラクチャードコンポーネント向けに設計されており、フォトレジスト処理に信頼性が高く、効率的で正確なプロセスを提供します。
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