中古 BREWER SCIENCE CEE 200 #293765607 を販売中

BREWER SCIENCE CEE 200は、半導体ウェーハの製造に使用される業界標準の非蒸着フォトレジスト装置です。システムは2つの部分で構成されています。フォトレジストプロセッサとウェットステーション。フォトレジストプロセッサは、拡散加熱に使用される石英ガラスの内面を備えた二重壁の円柱チャンバーで構成されています。UV露出ユニットは中央に配置され、4ミクロンまでの幅の特徴を露出することができます。フォトレジストプロセッサは調整可能で、マスクステッピングプログラムを特定のフォトレジストに最適化できます。ウェットステーションは、サイクルの開発と洗浄に使用されます。これは、特定のアプリケーションのためのさまざまなモジュールで構成することができます。それはフォトレジストを形成し、適用するために液体およびスピンコーティングの技術を使用して働きます。ウェットステーションには、レジストの接着性と均一性を向上させる真空モジュールも装備されています。ウェットステーションの搬送機は、モジュール間の搬送を含むウェハ搬送を可能にします。CEE 200ツールは、さまざまなアプリケーションを提供します。IC製造、薄膜成膜、回路デバッグ、平面化、リソグラフィープロセスに最適です。アセットは完全に自動化されており、特定のウェーハ製造ニーズを満たすためにさまざまな機能を使用して構成することができます。光波長感度が高く、露光時のアライメント性に優れています。BREWER SCIENCE CEE 200は、0。1 µmの分解能で露光時間の精密制御も可能です。さらに、CEE 200は高精度な操作とクリーンルームの互換性を備えており、新しい半導体技術の開発にとって信頼できるツールです。また、メンテナンスとフロアの保守性を可能にする高度な機能を備え、長寿命のために設計されています。このモデルは、16nmおよび10nmリソグラフィを含むさまざまなランプアップ用途でも信頼性が高いことが証明されています。全体として、BREWER SCIENCE CEE 200装置は、さまざまな半導体製造タスクに優れた性能を提供する高度なフォトレジストプロセッサです。長寿命で高精度な機能を提供し、新興半導体技術に欠かせないツールとなっています。