中古 BREWER SCIENCE CEE 1100 Custom #136934 を販売中
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ID: 136934
Programmable vacuum hot plates for up to 500 x 500mm substrates
PID temperature programmer
Maximum temperature: 280°C with 0.1°C resolution
(10) User programs for bake temperature, time, and bake method
Bake methods: proximity, soft, or hard contact
Lift frames: fully programmable controlled loading of substrate onto hotplate
Auto cooling cycle to speed cool-down.
BREWER SCIENCE CEE 1100は、より細かく複雑な構造を作り出すために設計されたカスタムのフォトレジスト機器です。フォトレジスト(photoresists)とは、基板に塗布し、光にさらされてパターンや構造を作る高分子材料である。CEE 1100は、化学製剤、統合露光およびイメージングシステム、および化学開発プロセスで構成されています。この特定の製品は、最も複雑なフォトリソグラフィーワークフロー用に特別に設計されています。CEE1100の化学製剤は、3つの成分を含むバインダーで構成されています。有機フィルム形成、架橋に寄与する酸の化合物とバインダーの重合を開始するイニシエータ。この定式化により、高速露光、高分解能イメージングおよびエッチング、および広範囲の波長に対する高感度を実現します。照射とイメージングユニットは、適切なタイプの光を生成する放射光源、光を集中させるレンズ、および光が正しい強度であることを確認するために調整できる関節アームで構成されていますフォトレジストを公開します。さらに、露光後のフォトレジストの画像を提供し、ユーザーはフォトレジストを開発する前に画質を確認し、必要な調整を行うことができます。最後に、化学開発プロセスは酸性の開発者を使用して、露出していないフォトレジストを溶解します。これは露出機によって作成された露出されたフォトレジストにパターンを残します。開発者は、さまざまな時間/温度プロトコルのために策定することができ、プロセスはさまざまな基板やアプリケーションと互換性があります。要約すると、BREWER SCIENCE CEE 1100カスタムフォトレジストツールは、フォトリソグラフィの高度な機能をユーザーに提供するように設計されています。それは革新的な化学製剤、統合された露出およびイメージングの資産およびより速く、より複雑な露出、イメージングおよびエッチングのプロセスを可能にする化学開発プロセスから成っています。CEE 1100を使用すると、ユーザーはより高い精度と速度でより細かく複雑な構造を作成できます。
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