中古 BREWER SCIENCE CEE 100CB #9165200 を販売中

ID: 9165200
ウェーハサイズ: 8"
Photoresist spinner hotplate, 8" Coat bake wafers.
BREWER SCIENCE CEE 100CBは、高度なマイクロエレクトロニクスおよび半導体デバイスの製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトマスクの露出エネルギーを高精度・高解像度・効率的に利用するための技術と、フォトマスクによる重合を独自に組み合わせて実現しています。本製品は、ウェーハ基板にスピンで塗布し、カスタマイズされたマスクにさらされる光活性エポキシ素材で構成されています。このマスクは透明な窓と不透明な壁の形で希望のデザインのデザインパターンが含まれています。露出時には、エポキシ材料はマスクパターンの端に沿って正確に重合し、マスクの開口部と壁の形状とサイズを忠実に再現する硬化したマイクロスケール構造を形成します。重合された材料は、その後のエッチング処理のための物理的なマスクとして機能し、望ましいデバイスパターンをもたらします。BREWER SCIENCE CEE 100 CB材料は、優れた解像度、パターン制御、およびスキャン抵抗を示し、サブ50マイクロメートルデバイスの複雑なパターン作成に適しています。さらに、CEE 100CBのエネルギー効率は、大規模パターンの経済的な重合を可能にし、スループットと歩留まりの向上を可能にします。CEE 100 CBは、高性能フォトイニシエータパッケージを使用して写真中間濃度を最適化することにより、ウェーハプロセスの深さと均一性を向上させます。BREWER SCIENCE CEE 100CBフォトレジストユニットは、高解像度で信頼性の高いパターニング性能を求めるデバイスメーカーにとって、費用対効果の高いソリューションです。その性能とエネルギー効率の組み合わせにより、複雑なパターンと微細な機能を備えたデバイスのより迅速で信頼性の高い生産が可能になります。BREWER SCIENCE CEE 100 CBマシンは、高度なデバイス製造の要求を満たすために正確かつ効率的なパターン生成を必要とするメーカーに最適です。
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