中古 BREWER SCIENCE CEE 100CB #293620102 を販売中

ID: 293620102
Photoresist spinner.
BREWER SCIENCE CEE 100CBは、さまざまなフォトリソグラフィ用途向けに設計された先進的なマルチコンポーネントフォトレジスト機器です。フォトレジスト(photoresists)とは、半導体、MEMS/NEMS、ディスプレイなどのパターンを開発するために使用される材料です。BREWER SCIENCE CEE 100 CBは、フォトレジスト用途向けの正トーン、エポキシドベースのソリューションです。平面および3D面の低温フォトリソグラフィに適しています。システムの成分には、ノボラックエポキシド、シフ塩基アミン、無色の界面活性剤が含まれます。ノボラックエポキシドは、優れたエッチング抵抗とフォトスピードの安定性を提供し、エッチングプロファイルの正確な制御を可能にします。また、CEE 100CBの低熱吸収性により、表面の歪みを防ぎます。Schiffベースのアミンは、パターンの解像度をさらに高めるためにフォトアシド発電機として使用されます。無色の界面活性剤は、レジストの光線を増加させることにより、露出構造の認識を向上させます。CEE 100 CBの感光性は230-270 nmの範囲にあり、i-line、 G-line、 KrF露光源との併用が可能です。さらに、フォトレジストは、用途に応じて水溶性または溶媒ベースのソリューションで開発することができます。BREWER SCIENCE CEE 100CBは、さまざまな高精度アプリケーションに適しています。半導体基板、MEMS/NEMS製造、ディスプレイ試験構造などの用途に優れています。さらに、優れたエッジ定義と高解像度により、小型の機能を含むリソグラフィー処理に最適です。要約すると、BREWER SCIENCE CEE 100 CBは、フォトリソグラフィ用途向けに設計されたポジティブトーンレジストマシンです。そのコンポーネントは、優れたエッチング抵抗、フォトスピードの安定性、および解像度を提供し、その光感受性は、それが様々な露光源で使用することができます。これらの機能は、優れたエッジ定義と、水溶性または溶媒ベースのソリューションとの開発能力を兼ね備えているため、さまざまな高精度アプリケーションに最適です。
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