中古 BREWER SCIENCE Apogee spinner FL #293651589 を販売中

Brewe Science BREWER SCIENCE Apogee spinner FLは、産業用スピナーのリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。コストパフォーマンスに優れた周波数制御フォトレジストコーティングシステムで、直径4インチから12インチまでの基板コーティングが可能です。ユニットには1つまたは2つのディスペンスチャンバーが装備されており、それぞれが4つの基板までスピンコーティングするための溶融フォトレジストと様々な液体または混合物を同時に分配することができます。これにより、基板の表面全体に均一な厚さのフォトレジストを適用することができ、従来のスピンオンレジストに関連する時間とコストを削減できます。フォトレジストマシンは回転基板の真下にあるスピンドルで構成されています。スピンドルは周波数制御モータによって駆動され、フォトレジストを基板に運ぶステンレススチールホースに接続されています。ホースの端には、溶融フォトレジストを正確に分配するシャワーヘッドのようなノズルが装備されています。溶融フォトレジストは基板のすぐ上に放出され、遠心力によって表面に向かって推進されます。これにより、基板の表面全体に均一なフォトレジスト層が形成されます。主軸下部に高輝度赤外線（IR）ランプを取り付け、基板に塗布する際にフォトレジストを硬化させます。IRランプは、外部電源、通常は電源インバータによって駆動され、硬化プロセスを開始するために必要な電力をランプに供給します。さらに、スピナーには温度コントローラが装備されており、溶融フォトレジストの温度を正確に調整して正確な硬化結果を保証します。フォトレジストツールは、ユーザーフレンドリーで操作しやすいように設計されており、最小限のトレーニングと校正が必要です。このアセットは直感的なユーザーインターフェイスと、プロセスを監視し、最適なパフォーマンスを確保するためのさまざまな表示オプションを備えています。さらに、このモデルはお客様固有のニーズや要件に合わせてカスタマイズすることができ、産業用スピナーのリソグラフィープロセスにとって非常に汎用性が高く費用対効果の高いオプションとなります。