中古 BREWER SCIENCE Apogee bake FL #293659674 を販売中

BREWER SCIENCE Apogee bake FLは、フィルムレジストシステムを展開するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、大量のリソグラフィのニーズに適しており、高速で信頼性が高く、繰り返し可能なプロセスを可能にします。このユニットは、フォトレジストに適用されるスピン速度とプロセス時間の両方を制御し、レジスト層をウェーハ表面に焼き付けることによって動作します。独自の「スピンアンドベーク」方式を採用し、均一で信頼性の高いコーティング層を実現しています。この方法は、スピンナーベースのコーティング、および密閉環境での高精度ベーキングを含みます。この方法では、ウェーハに一定の流量とVOCなしの環境でレジストを適用します。精密加熱素子やセンサーを用いて高精度なベーキングを実現します。このツールは、温度と時間を正確に監視し、均一な熱分布を確保することができます。ベーキングチャンバーの寸法は、230°Cまでの温度の均一な分布に最適化されており、可能な限り短時間で焼くことができます。Apogee Bake FLには高度な自動化ソフトウェアも搭載されており、ユーザーは特定の要件に応じてアセットを微調整するための自動レシピ、プロセスファイル、および制御パラメータを作成できます。ユーザーは、シングルフィーダの速度と時間、スピナーのドウェル時間、浸透チャンバの速度、温度設定ポイント、およびその他のパラメータなどの結果を最適化するためにサブシステムをプログラムすることができます。さらに、このモデルにはさまざまなオンボード処理レシピが搭載されています。プロセスオートメーションに加えて、温度のセルフモニタリング、化学物質排出量の低減、効率的な省エネ技術など、多くの安全性と環境保護機能を備えています。これにより、職場の安全で環境に優しい環境が確保されます。BREWER SCIENCE Apogee bake FLは、大量のリソグラフィのニーズに応えるように設計された先進的で効率的なフォトレジストシステムです。均一なコーティング層、正確な温度制御、自動化されたレシピ、さまざまな安全性と環境機能を提供します。ユニットを使用すると、ユーザーは反復可能で信頼性の高い結果を達成し、多数のリソグラフィ用途での成功を確実にすることができます。