中古 BAL-TEC SCD005 #293637972 を販売中

製造業者
BAL-TEC
モデル
SCD005
ID: 293637972
Coater system.
BAL-TEC SCD005は、様々な微小機械部品の製造に使用できる高度なフォトレジスト装置です。先進のナノスケールイメージング技術を採用し、部品の製造に用いられているナノパターンをイメージします。このナノレベルのイメージング技術は、SCD005の特徴であるOpticWrite He-Neレーザーと組み合わせて使用される焦点イオンビーム(FIB)に基づいています。1ナノメートルという極めて微細な公差を持つ微細構造を作成することができ、XY軸とZ軸の両方で高精度な画像を生成することができます。これにより、現代のマイクロリソグラフィープロセスと同等の特徴サイズで、非常に複雑なナノ構造を作成することができます。BAL-TEC SCD005フォトレジストマシンはまた、ツールの取り扱いとインストールが簡単にできるコンパクトなデザインと、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。このアセットには、コンピューター制御のモーションテーブルが統合されており、露出領域内のコンポーネントの自動露出と移動を可能にし、柔軟性と精度を向上させます。このモデルは、イオンビームとレーザー露光システムを組み合わせて使用するため、露光プロセスの制御に最大限の汎用性が得られます。これらの露光システムはどちらも、精度と高品質の画像の生成という点で長所と短所を持っています。イオンビーム露光装置は、最小の機能サイズで高解像度の画像を作成できるようにするには、大幅なセットアップ時間が必要ですが、システムをセットアップすると、一貫した高品質の画像を作成することができます。光子ビーム露出は、イオンビーム露出に比べて特徴サイズが小さく、非常に高解像度の画像を生成することができます。しかし、光子ビームユニットには露光プロセスの変動に対する耐性が低いなどの欠点があり、より細かいフィーチャーサイズのイメージングプロファイルを作成することはできません。SCD005は、様々な微小機械部品の製造に使用できる高度なフォトレジスト機械です。このツールは、露光プロセスの制御に最大限の柔軟性を提供する高度なナノスケールイメージング技術を採用しており、最新のマイクロリソグラフィープロセスと同等の最小のサイズの高精度な画像を作成することができます。このアセットには、ユーザーフレンドリーなインターフェースとコンピューター制御のモーションテーブルが装備されており、モデルの取り扱いと設置が容易であり、露出領域におけるコンポーネントの自動移動も可能です。
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