中古 BAL-TEC MCS-100 #293656528 を販売中

BAL-TEC MCS-100
製造業者
BAL-TEC
モデル
MCS-100
ID: 293656528
System Thermal evaporation included Rotating sample stage: Up to 4".
BAL-TEC MCS-100は、最先端の高精度フォトレジスト機器です。このシステムは、薄膜半導体回路、LCD、およびマイクロエレクトロニクス部品の一貫した高精度印刷と加工を目的として設計されています。フォトレジストユニットには、薄膜の画像取得、処理、露出、開発のためのソフトウェアパッケージが含まれています。また、あらかじめ露出してから開発するためのさまざまなツールも含まれており、サブミクロン精度の薄膜回路の生産に統一されたソリューションを提供します。MCS-100は、LED照明付きの高解像度顕微鏡を内蔵しており、堆積物の詳細な検査や電極、薄膜構造などの精密なアライメントを可能にします。また、低消費電力から高消費電力までの露出設定が可能で、0。25 μ mの精度の薄膜パターニングが可能です。フォトレジストは、Ar-Krレーザーまたは高出力LED光源で露出します。レーザーは露出プロセスの間に高精度を保障します、LEDの光源は露出時間およびパターンのプログラミングのより柔軟性を可能にします。さらに、BAL-TEC MCS-100には、印刷構造の品質を評価するための高度な計測機能が含まれています。これは、サイクルからサイクルまでの結果の一貫した精度を保証する高速自動キャリブレーション手順を備えています。このツールには、沈着、レジストストライピング、エッチング、パターン転送などのプロセスを最適化するためのさまざまな自動プロセスが装備されています。これにより、正確で再現性の高い結果が得られ、高いスループットと高い歩留まりが得られます。要約すると、MCS-100フォトレジスト資産は、優れた精度で一貫した結果を提供する信頼性の高い高精度なツールです。これは、高品質で一貫した結果を持つ薄膜成膜と印刷を必要とする企業、大学、研究室にとって理想的な選択肢です。
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