中古 AXCELIS / FUSION R850 #9144806 を販売中

AXCELIS/FUSION R850は、リソグラフィープロセスに使用される高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、高度なロジック、メモリ、ディスプレイアプリケーションなどの重要なリソグラフィーアプリケーションに、コスト効率が高く、信頼性が高く、反復可能な結果を提供するために、いくつかの機能を組み合わせています。ウェーハ処理において最も要求の厳しい世界市場の要件を満たすように設計されており、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスは、望ましいデバイス特性を最適化するために必要な情報を研究、エンジニアリング、および生産担当者に提供します。FUSION R850は、高周波キセノン充填ランプ、急速なTTL露出制御、優れた高精度加工光学、および高度な環境制御設計を備えており、ユーザーはユニットを正確に調整することができます。これらの部品を組み合わせることで、高精度なフォトレジストマシンを提供し、1k λマスク上で5。1ミクロンの高密度分解能と0。5％以下の総工具の均一性を実現します。また、高度なIC設計のための高コントラストイメージングを提供し、接触リソグラフィーや単層ゲートパターニングなどの特殊プロセスを含む幅広いレンズ機能を備えています。さらに、このモデルには自動エンドポイント検出機能とウェハローディング機能が組み込まれており、ユーザーの介入を最小限に抑え、生産スループットを最大30％向上させます。高度な露出制御装置には、オプションの動的GPSMモジュールが含まれており、ユーザーはリアルタイムでシステムパラメータを正確に管理でき、結果の最高の再現性を実現します。AXCELIS R850は、ウェーハの処理効率を最大限に高めるために、オプションのLoadlockを搭載しており、プログラミング前に最大10カセットのウェーハをユニットに転送して保存することができ、オペレータの介入を必要とせずに継続的な操作が可能です。さらに、ホットスワップカセットメカニズムも備えており、工具の稼働中にオペレータがウェーハでカートリッジを切り替えることができます。PCS Process Planning Softwareとの互換性により、R850と組み合わせて使用すると、最適なデバイス特性と生産歩留まりが保証されます。AXCELIS/FUSION R850フォトレジストモデルは、信頼性とコスト効率を兼ね備えており、正確なリソグラフィ結果と高品質の歩留まりを必要とする多くの業界専門家の選択肢となっています。その優れた機能により、ユーザーは急速に変化するグローバルIC市場の要件に十分に対応できます。