中古 AXCELIS / FUSION R850 #9134042 を販売中

AXCELIS/FUSION R850は、半導体業界で基板上に回路パターンを生成するために使用されるフォトレジスト機器です。それは利用できる最先端の抵抗のストリップ用具で製造業の革新および性能を運転する非常に多目的なプラットホームを提供します。FUSION R850は、高度なリソグラフィおよびエッチツールセットを使用して、複数の材料レジストストリップアプリケーションを可能にします。複雑なプロセスフローに対応するため、ハイブリッドのOpen-Loop/Closed-Loop Controlシステムを備えています。Open-Loop Controlアルゴリズムを使用すると、予測制御アルゴリズムを使用して、フォトレジストの露出とエッチング性能におけるウェーハ間の差異を補正することで、プロセスフローをより大きく制御できます。クローズドループコントロールユニットは、リアルタイムフィードバックによるin-situ層対層計測を可能にし、再現性と正確な画像解像度を確保します。AXCELIS R850マシンの中核には、FUSION独自のOpen Process Champion Technologyがあります。このソフトウェア主導の分析ツールは、レシピを精製し、サイクルタイムを短縮するために利用できるプロセスデータとトレンドのリアルタイム分析を提供します。プロセス最適化におけるこの柔軟性は、より高い歩留まりとレジストストリッププロセスのフローの制御のための道を開きます。R850ツールは、フォトレジスト材料の広い範囲をサポートしています。このアセットは、20nmまでの機能を持つ半導体デバイスを製造するために使用されるミクロンレベルのマイクロリソグラフィープロセスを処理することができます。さらに、高度な粒子除去戦略と自動レジストストリップ欠陥検出により、最適な歩留まりを提供します。この洗練されたフォトレジストモデルは、コストを削減し、プロセスフローを改善し、歩留まりを向上させるように設計されています。AXCELIS/FUSION R850装置は、レシピを最適化することで、製造メーカーがより効率的に半導体デバイスを生産し、最終製品の品質を向上させるのに役立ちます。