中古 ASML / SVG 90S #9197270 を販売中
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ID: 9197270
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
DUV System, 8"
Model no: 9068
Top assembly P/N: 99-47302-01
Sub assembly P/N: 99-40407-03
Includes:
Interface block
SVG End station P/N: 99-48240-01, 9062
MICROBAR P/N: Trackmate
SVG Semifab precision air handler P/N: 224-203, RAM 2000/480/SVG
EPE Technologies transformer P/N: 8-77115-07
DONALDSON Carbon filter system P/N: P196160
Miscellaneous panels / Covers / Hardware
Power requirements: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
1995 vintage.
ASML/SVG 90Sは、深いUVイメージングと光エネルギーを組み合わせてウェーハ上にパターンを作成するフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体業界で使用するために設計されており、優れた精度と機能サイズの再現性を提供します。SVG 90Sは、最高の露光波長精度と特徴サイズの再現性を提供する進化ユニットです。これは高度な光学アセンブリを備えており、厳密に構成された最大数の開口部で完全な視野を提供します。露出プロジェクションイメージングツール、高度な光学部品、および光源を組み合わせて、複数のレベルの光エネルギー強度を提供します。ASML 90Sは、各デバイスレベルで投影されたパターンに光エネルギー出力を照合するためのパターン認識アルゴリズムを使用しています。これにより、機能の精度と再現性が大幅に向上します。アセットは、短時間露光と高速動作を可能にする高速露光アルゴリズムで設計されています。これにより、プロセスの信頼性と最適化が向上します。このモデルは、小型および大型のフィーチャーサイズを効率的かつ正確に処理するために設計されています。また、クリティカルレイヤーの再現可能なプロセスも提供します。これは、複雑なファインピッチ機能を作成する際に半導体業界にとって非常に重要です。90Sは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた非常にユーザーフレンドリーで、認定されたシステムで認定されています。それはオペレータおよび装置の保護のための統合された安全特徴を備えています。要するに、ASML/SVG 90Sは、高精度のイメージングと光エネルギーの組み合わせで、優れた精度と特徴サイズの再現性を提供します。高度な光学アセンブリコンポーネントとプロセスアルゴリズムを組み合わせ、複雑なパターンを正確かつ効率的に作成します。直感的な制御と安全機能を備えており、信頼性と安全性を確保します。このフォトレジストシステムは、半導体業界にとって非常に貴重な資産です。
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