中古 ARGUS INTERNATIONAL 9324 #9026013 を販売中

ARGUS INTERNATIONAL 9324は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の生産におけるプロ向けに設計された高精度フォトレジスト装置です。Digital Light Processing （DLP）プラットフォームを使用した特許取得済みのマスクレスリソグラフィープロセスにより、正確な露光を可能にします。その広い波長は、ユーザーが様々なレジストや材料を試すことができます。さらに、露出時間は調整可能で、より正確な結果が得られます。9324は異なった波長を提供するために転換/制御することができる固体光源を使用します。これにより、マイクロリソグラフィープロジェクトおよびサブミクロリソグラフィープロジェクトに最適であり、さまざまなオブジェクトに最適な焦点条件を提供します。他のフォトレジストシステムと比較して、ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 9324は優れた長期的な設置安定性と最小限のメンテナンス要件を保証します。また、自動校正ユニットを備えており、常に正確な露出線量を保証します。9324で提供される全視野は10「から6。14」ですが、最大解像度は長方形の構造に40µm、丸い構造には80µmです。最大8「×6。14」のサンプルに対応可能で、高い忠実度と精度により、さまざまなエッチングに最適な条件を提供します。この機械には、エッチング層、厚くて薄い酸化物の層、密で薄い金属層、保護コーティングなど、さまざまなアプリケーションをカバーする幅広いプログラムが装備されています。さらに、フォトレジストに関するすべてのプロセスは、ARGUS INTERNATIONAL 9324が提供する自動制御ツールによって監視することができます。このアセットにより、露出時間、線量、プロセス数を調整し、開発、イメージング、エッチングを監視することができます。9324は、汎用性とパフォーマンスの優れたバランスを提供します。特許取得済みのマスクレスリソグラフィは、高精度を保証し、市場で入手可能な大部分の生産システムと容易に統合できます。したがって、このフォトレジストモデルは、大学の研究室や生産ライン施設に理想的なソリューションを提供します。