中古 APT 9145 EP #9124776 を販売中

APT 9145 EPは、研究、半導体、マイクロエレクトロニクス、薄膜太陽電池および医療機器産業におけるウェーハの最高分解能パターニングを提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムでは、事前に定義された投影マスクと照明パターンを使用して、基板を1回のサイクルで異なる場所に露出させることができます。このような投影により、基板上に42nmという小さな特徴をパターン化することができます。このユニットは、フォトリソグラフィ用途に最適な均一性と精度を保証する統合レンズを備えた技術的に高度な光学機器を備えています。このツールには、調整可能なモーションステージと、再現可能で均一なプロセスのための完全に自動化された露出プロセスも付属しています。このアセットは、リニアプロジェクションテレセントリックモータを使用して、基板のあらゆる平方ミリメートルにわたってパターンフォーカスとサイズが一貫して維持されるようにします。これにより、パターンが一貫した精度で作成されます。モデルに付属しているソフトウェアはユーザーフレンドリーであり、ユーザーがフォトレジスト機器のパラメータを最適化するのに役立ちます。さらに、このソフトウェアを使用すると、ユーザーはさまざまなパラメータをすばやく保存してリコールすることができます。後処理の面では、パターン化された基板が最適な基板安定性を維持しながら残留物を完全に洗浄することを保証するのに役立つ多くのオプションを備えています。オゾン、ハロホルム、二酸化硫黄を使用して、基質を最小限の損傷で徹底的に洗浄することができます。また、露出時に基板温度を安定させる水冷機も備えています。このツールは、熱損傷を低減し、基板が処理中に涼しく保たれるようにするのに役立ちます。要するに、APT 9145EPは強力で信頼性の高いフォトレジストアセットであり、さまざまな基板パターニングアプリケーションのための非常に多くの精度と精度をユーザーに提供します。