中古 APPLIED MULTILAYERS CFM 650 #170770 を販売中
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ID: 170770
Precision optical coater
Drum diameter 424mm
Linear magnetron length 610mm
Magnetron width (target size) 133mm
Magnetron positions 4
Available coating area (±1%) 5040 cm2.
APPLIED MULTILAYERS CFM 650は、感光性エマルジョンと厚さ測定の2つのコンポーネントで構成されるフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、精密マスキング、シールド、沈着の必要性に信頼性の高いソリューションを提供し、すべてのフォトレジスト層の厚さ測定で高精度な結果を提供します。感光性エマルジョンは、特定の波長光の露出で選択的に活性化することができる感光性分子で構成される小さな粒子材料です。これにより、フォトレジスト層の異なる領域での選択的な開発が可能になり、絶縁層および絶縁層の正確なパターニングが可能になり、デバイス製造に使用できます。CFM 650の測定部分は、高度な静電容量変位センサ技術に基づいており、高精度の3Dスキャナとシンプルで使いやすいソフトウェアを備えています。感光性エマルジョンによって作成されたフォトレジスト層の厚さを測定するために使用されます。APPLIED MULTILAYERS CFM 650の試験結果は、ユニットの非常に高い精度と再現性を示し、効率とスループットが向上しました。結果は、一定の動作条件に応じても、意図された設計と非常に正確で一貫しています。さらに、CFM 650は、サブミクロンレベルまで基板上に精密なパターンを作成することができる高精度機械です。結論として、APPLIED MULTILAYERS CFM 650は、信頼性の高い一貫した結果を持つ優れたフォトレジストツールです。それは2つの部分から成っています:厚さの測定のための感光性の乳剤そして3D走査器。これら2つのコンポーネントを組み合わせることで、デバイス表面をサブミクロンレベルまで正確にパターニングし、精度とスループットを向上させます。CFM 650は、表面層の正確で正確なパターン作成に最適です。
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