中古 APET FCL-0119 / NEO 2000 #9184969 を販売中

NEO 2000 APET FCL-0119は、スピンコーター、K751-Xホットプレート、ウェーハアライメントからなるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体アプリケーションに最適なフォトレジスト成膜とウェーハアライメント用に設計されています。NEO 2000 APET FCL-0119のスピンコーターは、フォトレジストソリューションの高精度回転のために設計された統合スピンコーティングステーションで構成されています。スピン速度と加速度を正確に制御できるウェブ駆動モータを搭載しています。スピンチャンバーは、調節可能な温度および湿度センサーで換気および制御され、一貫した堆積環境を提供します。K751-Xホットプレートは、信頼性の高い高効率、低熱ホットプレートであり、基板全体にフォトレジストフィルムを正確に溶解および拡散させるために使用されます。温度は設定値の0。1°C以内に維持されます。ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた統合ワークステーションと、低ノイズ動作を備えた精密なマイクロモータドライブを備えています。ウェーハアライメントは、NEO 2000APET FCL-0119フォトレジストユニットの最も重要なコンポーネントです。高精度、低ノイズの長方形の構造設計で、スピンコート蒸着時のウェーハの正確なアライメントと登録を可能にします。これにより、ウェハ表面をフォトレジストフィルムで完全に覆うことができ、フォトレジストの均一性のばらつきを低減することができます。NEO 2000APET FCL-0119フォトレジストマシンは、半導体デバイス全体にわたる高精度フォトレジストコーティングのための包括的で統合されたソリューションを提供します。このツールは、プロセスを簡素化し、フォトレジストを基板に均一に堆積させ、フォトレジストの均一性のばらつきを最小限に抑えます。統合されたユーザーインターフェイスにより、スピンコート蒸着パラメータとウェーハの迅速かつ効率的なアライメントと調整が可能になり、最適な蒸着品質と再現性が保証されます。