中古 AND ASP-2000X #9373113 を販売中

AND ASP-2000X
製造業者
AND
モデル
ASP-2000X
ID: 9373113
ウェーハサイズ: 2"-6"
(3) Coater / (4) Developer systems, 2"-6".
AND ASP-2000Xは、研究および産業用途の両方のために設計された高度なフォトレジスト装置です。プリント基板、フィルム、レジスト層など、光に敏感な素材で作られた光画像を「開発」することで機能します。 は、 のように深く埋められる極めて細かいディテールを作り出すことができ 。このシステムは、特殊な照明ユニットを使用して、感光材料、感光剤、および光活性化合物で構成される感光化学で基板の表面をANDコーティングします。感光性材料は、画像を作成するために光にさらされます。露出は制御され、記録され、ユーザーは独自の要件にプロセスをカスタマイズすることができます。光の強度と波長は、所望の解像度を生成するように調整されます。露出が完了すると、基板はアライメントステーションを通過し、基板は正確に登録され、0.1µmまでの精度レベルを達成するためにアライメントされます。特殊なエッチングヘッドを使用して、露出した部分をエッチングします。エッチングヘッドは、基板の異なる厚さを可能にするために調整可能です。最後に、基板を乾燥機に通して露出した部分を硬化させます。AND ASP-2000Xの主な特徴の1つは、統合された自動プロセス制御(APC)ユニットです。このマシンは、プロセスのリアルタイム監視を可能にし、ユーザーが必要に応じて露出期間中にプロセスに調整と修正を行うことができます。さらに、APCツールは、いくつかの露出パラメータを格納するようにプログラムすることができ、自己学習が可能で、生産能力を高めるために最適化することができます。ASP-2000Xは、高精度で再現性の高い優れた画像解像度を提供するように設計された高度な資産です。統合されたAPCモデルは、リアルタイム監視と制御を可能にし、使いやすいインターフェースにより、現場の新規参入者にアクセスできます。この装置は研究および産業適用の両方にとって理想的です。
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