中古 AND ASP-2000LX #9375095 を販売中

AND ASP-2000LXフォトレジスト装置は、半導体材料やその他の敏感な製品を高精度に微細加工するために設計された最先端のフォトリソグラフィーシステムです。このリソグラフィーユニットは、0。5ミクロン（0。0000002インチ）の構造物を製造することができます。マルチレイヤー露出など、複数のユーザーフレンドリーな機能を備えており、複数のレイヤーを同時に露出させることでプロセスを加速させるだけでなく、高度なアライメント登録メカニズムも備えています。ASP-2000LXツールの設計は、独自のデュアル光源を利用しています。アセットには、フィルタリングされていない水銀ランプと、広範囲の光を提供するフィルタリングされたLEDアレイが備わっています。これらの2つの光源は、別々に、または多層露光の広い範囲で一緒に使用することができます。デュアル光源設計により、スループットとスループットが向上し、フォトリソグラフィープロセスにおける高精度のAND分解能を提供します。高精度アライメント登録により、多層露出が有効になります。このメカニズムは、複数のレイヤー間の正確なアライメントを確保するために、ビジョンアライメント、自動XYステージ、レーザー干渉計、およびエッジ検出方法の組み合わせを使用します。自動XYステージには、レイヤーエッジの正確な位置決めのための精密コントローラも付属しています。高精度の多層露光に加えて、AND ASP-2000LXモデルにはフォトレジスト画像の自動処理を可能にする高度な写真開発装置が搭載されています。これには、自動光化学、レジスト開発段階、および開発後の検査が含まれます。自動化されたシステムは、各層が均一に開発され、一貫して高解像度であることを保証します。さらに、ASP-2000LXユニットにはオンボードデータロガーが装備されています。この集中型データロガーにより、テスト結果と開発データを簡単かつ安全に収集できます。これにより、オペレータはプロセスのパフォーマンスを見直して分析し、より良いプロセスパラメータを開発することができます。AND ASP-2000LXフォトレジストマシンは、敏感なAND半導体材料を精密に微細加工するための強力で信頼性の高いツールです。このアセットは、高度なデュアル光源技術、多層露光機能、精密アライメント登録、高度な写真開発ツール、およびオンボードデータロガーにより、高品質のフォトレジスト製品を製造するための費用対効果の高い効率的なリソグラフィーモデルです。