中古 AND ASP-2000LX #9205493 を販売中

AND ASP-2000LXフォトレジスト装置は、高精度な製造プロセスを実行するための高性能システムです。深度の高い超精度レーザーリソグラフィを使用し、最大1。5 μ mのフィーチャーサイズのパターンを生成します。この機械は、302nmレーザー源、プロセスを制御するための測定ツール、レーザモジュレーター、および高度な制御ユニットで構成されています。レーザモジュレータは、パターンを生成するためにレーザビームを正確に変調するために使用されます。測定アセットは2つの目的のために使用されます、1つはたわみ角度およびレーザーの強度のようなプロセスに関連付けられているさまざまな変数を報告することですそしてもう1つは正確なおよび反復可能な結果を可能にするために制御単位にフィードバックを提供することです。制御ユニットは高度な操作制御を提供します。これにより、速度、パターン方向、サイズ、および波長を非常に正確に調整できます。さらに、制御ユニットはパターンの複数の形状とサイズを格納し、精度と再現性を向上させます。このモデルはまた、パターンの高精度なアライメントを可能にします。装置の光学AND力学は、1。5 μ m以下の抵抗AND線幅の深さのために最大1nmの精度で動作することを可能にする高精度標準に構築されています。結果は非常に小さく、正確で、繰り返し可能なパターンです。これらのパターンは、エッチング、成膜、金属化など、さまざまな製造プロセスで使用できます。全体的ASP-2000LX、フォトレジストシステムは、高精度の製造プロセスに正確で再現性のある結果を提供するように設計された強力なAND先進ユニットです。1。5 μ m程度の特徴サイズのパターンを生成することができ、精度と再現性のための高度なフィードバック制御を提供します。プログラム可能な設定により、高度に専門化された製造プロセスに最適なマシンです。