中古 AND ASP-2000 #9373108 を販売中

AND ASP-2000は、高度なフォトリソグラフィに使用される日本テクノケムが製造するフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコンウェーハなどの基板にパターンをエッチングするために、光、溶媒、紫外線を組み合わせて使用します。ASP-2000用途に応じて、片面または両面ウェハで作業できます。それは汚染物を取除くために非水、極およびprotic溶媒の特別な組合せによってウェーハを扱うことによって始まります。これにより、塗布されるフォトレジストコーティングが基板に均一に付着することも保証されます。ウェーハを準備した後、ASP-2000はフォトレジストコーティングを適用します。このユニットは、特定のアプリケーションに必要な機能寸法に応じて、さまざまなタイプのフォトレジストを選択できるように設計されています。フォトレジストを適用すると、ウェーハは作成された図形とパターンに対応する波長の光にさらされます。光は数回ウェーハ上に渡され、異なる化学特性を持つフォトレジストの層を適用することができます。この時点で、ウェーハは開発の準備ができています。用途に応じて、酸素プラズマまたは空気ベースの方法を使用して、露出したパターンをフォトレジストにエッチングすることができます。このステップの間に、空気またはプラズマは残りの汚染物質を取り除き、フォトレジストをより簡単に取り除くことができるようにします。最後に、不要なフォトレジストは、加熱されたお風呂と化学処理の組み合わせを使用して溶解され、基板に所望のパターンを残します。両面ウェハを処理する必要がある場合は、同じ手順が2番目の側で繰り返されます。ASP-2000は、さまざまな用途に使用できる強力で汎用性の高いフォトレジストマシンです。信頼性が高く、高いスループット能力を備えているため、チップメーカーの間で人気があります。