中古 AMCOSS AMR200 #293820703 を販売中
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ID: 293820703
ヴィンテージ: 2024
Spin coater
Control module, P/N: AMR200C
Developer module, 8", P/N: AMR200D
Nitrogen (N₂) Purge function
UV Lamp
Spray nozzle
(3) Pressurized tank systems, P/N: AMC0203_004
(2) Dispense systems with trap tanks
Drain system
Chuck, 8"
On-Site start-up
Additional dispense arm for MagPie
2024 vintage.
AMCOSS AMR200は、半導体製造など、基板の正確なパターン化を必要とする業界での高精度フォトリソグラフィ用途に特化して設計された最先端のフォトレジスト機器です。この高度な装置は、シリコンウェーハなどの基板上の複雑なパターンを、優れた精度と解像度で作成するための信頼性と効率的なソリューションをユーザーに提供します。AMR200システムの中核には、フォトレジストの精密な分配とスピンコーティング機能があり、フォトレジスト材料を均一な厚さとカバレッジの基板に精密に堆積させることができます。このユニットには、高度なディスペンシングノズルとスピンコーティングメカニズムが装備されており、一貫した反復可能な結果を保証し、基板表面全体のコーティング厚の変化を最小限に抑えます。AMCOSS AMR200はユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、オペレータは特定のアプリケーション要件に合わせて分注パラメータとコーティングパラメータを簡単にプログラムおよびカスタマイズできます。機械は回転速度、分配率、およびコーティング時間を含む調節可能な設定の広い範囲を提供し、ユーザーに望ましいコーティング厚さおよび均等性を達成するために沈殿プロセスの完全な制御を与えます。AMR200の主な利点の1つは、正と負のトーンレジストを含むさまざまなフォトレジスト材料や特定の用途に特化した製剤を扱うことです。このツールは幅広いフォトレジスト化学製品と互換性があり、ユーザーは特定のリソグラフィのニーズに最適な材料を選択することができます。AMCOSS AMR200は、優れた分配およびコーティング機能に加えて、基板上のフォトレジスト層の最適な接着性と安定性を確保するための高度なベーキングおよび硬化機能を備えています。このアセットには、コーティング後のプロセスで正確な温度制御を提供するプログラム可能なホットプレートとオーブンが含まれており、パターン化された基板の全体的な品質と性能が向上します。さらに、AMR200は高速なサイクルタイムと効率的なワークフロー管理機能を備え、生産性を最大限に高め、ダウンタイムを削減する高スループット動作を実現するように設計されています。このモデルには、パターニングプロセスを合理化し、機器全体の使用率を最適化するために、自動ローディングおよびアンロード機構、および高度な監視および制御システムが装備されています。全体として、AMCOSS AMR200は、性能、精度、信頼性の面でフォトレジストシステムの新しい標準を設定しています。その高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースは、高精度パターニングソリューションを必要とする半導体メーカー、研究機関、その他の業界にとって理想的な選択肢です。AMR200に投資することで、ユーザーは生産性の向上、プロセス制御の改善、フォトリソグラフィーアプリケーションの優れた品質の結果から恩恵を受けることができます。
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