中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9292668 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Raider
ID: 9292668
ウェーハサイズ: 8"
Cu Plating system, 8" With (2) Plating chambers (2) Cleaning chambers Bevel clean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raider™は、フォトリソグラフィ製造プロセスにおけるマスクパターンの精密露出を提供するように設計された先進的なフォトレジスト装置です。半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されたAMAT Raiderは、精密光学系、妥協のない精度、信頼性の高い長期的な性能で構築されています。APPLIED MATERIALS Raiderは、半導体ウェーハの特徴パターンの精度を高め、短くて深い紫外線パターンマークを一貫して再現可能な露光特性で正確に照明する高度な照明システムを採用しています。そのソリッドステートレーザーソースは、優れたポイント・ツー・ポイント露出均一性を提供し、フォトポリマー材料のゆっくりとした増分露光を特徴位置にシフトすることなく可能にします。自動化された出力は、自動化された反復可能なプロセスのためにもプログラムすることができ、複数のウェーハの同時コーティングと露出を可能にします。ユニットの制御ユニットは、すべての機能、および使いやすいプログラミングの信頼性の高い制御を提供するように設計されており、ウェーハの迅速かつ信頼性の高い処理を可能にします。Raiderは、高度で高精度なイメージングオプティクスを使用して、グラフィカルユーザインタフェース(GUI)を使用してマスクアライメントを可能にし、オペレータのエクスペリエンスを向上させます。自動ステージトラッキングマシンは、各ウェハがプロセスサイクル全体で元の登録を維持できるように設計されています。独自のエッジレスエッジセンサーを使用することで、露出プロセス中のマスクのずれの可能性を最小限に抑え、チップエッジマスク検出機能を内蔵することで、プロセスのスムーズで一貫性のある流れを実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS Raiderは、リソグラフィーシステムやロボティクスとシンプルに統合し、ワークフローを合理化し、それ以外の手動プロセスを自動化するために設計されています。このツールのオープンアーキテクチャにより、異なるアセットコンポーネントを統合する際のカスタマイズと柔軟性も可能になります。これにより、フォトレジストの革新的で高品質な露出が保証され、業界標準を満たすか超過する結果が得られます。要するに、AMAT Raiderは、リソグラフィーマスクやフォトポリマー材料の優れた再現可能な露出を提供するように設計された高度なフォトレジストモデルであり、他のシステムやコンポーネントとのカスタマイズされた統合も提供します。洗練された信頼性の高い照明機器、精密光学、自動化された追跡機能はすべて連携して、半導体ウェーハがあらゆる動作で正確にパターン化されるようにします。
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