中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9260103 を販売中
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ID: 9260103
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2016
System, 6"
Model no: RE10O2ECD0604
ECD for SiC wafers, 6" (Bridge, 8")
(10) Chamber raiders: Cabinet / Frame
2-Position cassette: WIP
Raider automation and control system
Pre-aligner
Spin rinse dry chamber
DYNATRONIX Power supply for plating chamber
SMC Chillers
CFD3 Plating cells:
(2) XX Platings
(2) XX Strike platings
Process tanks:
(2) XX Baths
(2) XX Strike baths
No auxiliary equipment
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raiderは、ウェーハ上の反復可能で高精度な機能の製造を容易にするために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、酸化物、窒化物、および高k誘電体などのさまざまな材料での機能開発を可能にするように特別に設計されています。このユニットは、特徴サイズと配置精度により、可能な限り最高の再現性と再現性の精度を提供します。また、0。5 μ mの画像再現性を備え、0。18 μ mの機能開発分解能を実現しています。さらに、ツールの解像度と速度は、ユーザーの生産ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。AMAT Raiderは、Aseptix CommanderとMatik Photoresist Assetの2つの主要コンポーネントで構成されています。Matikモデルは、Aseptixプラットフォームに統合された高度なモジュール式フォトレジスト機器です。このシステムは、トップツーボトムマスクアプローチによる機能開発を可能にし、ユーザーにデジタルパターニング技術を適用する能力を提供します。ユニットはまた、生産プロセスを容易にするために、他のさまざまな機能を提供しています。これらの機能には、フィデューシャルマークを見つけるための自動プランナー、最適な露出条件を設定するための自動チューニング機能、およびイメージング精度を向上させるオートフォーカスマシンが含まれます。さらに、このツールはクローズドループで自動化されたプロセスを提供し、手動で介入する必要がなくなります。アプライドマテリアルズのレイダーアセットは、幅広い機能開発要件に最適です。高解像度・高精度などの特徴から、高性能マイクロエレクトロニクス部品の製造に最適なソリューションです。さらに、自動化された機能により、生産時間とコストが削減され、機能開発の再現性も向上します。これにより、Raiderは高品質のマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための不可欠なツールとなります。
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