中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD 310 #9202573 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Raider ECD 310は、高度なリソグラフィ用途向けのフォトレジスト機器です。高性能な回路、メモリ、および大規模集積回路を製造するために必要な精密な分解能とクリティカルな露光条件を提供し、デバイス製造のための最高の精度と精度を提供します。AMAT Raider ECD 310は、ヘリウムカドミウムエキシマーレーザー源から放出される深紫外線（DUV）を利用しており、248-308 nmの範囲で波長暴露を生成することができます。これは、最先端のリソグラフィ用途に必要な強烈な露出を提供することができます。システムの光学系は、フォーカス、フィールド平坦度、テレセントリシティなどの重要なイメージングパラメータの正確さを高精度に調整します。最高のスループットを実現する高速ミラースキャナは、優れた画像忠実性とフレーム間の安定性を提供します。洗練されたスキャナ設計により、最大915nmの解像度を実現し、最も困難な回路パターンに正確に焦点を当てることができます。フォトレジストユニットは、基板に適用される層の均一な厚さを保証し、正確なクリティカルな寸法制御を可能にし、ほぼ完璧なアライメントで完璧な画像を生成します。このマシンには、フォトレジストと効果的な表面カバレッジの均一な適用を容易にする統合されたスプレーコーティングステーションが装備されています。レーザー、露出されたフィルムおよび走査器を含む第一次および二次光学要素は環境制御のための単一の部屋で、すべて囲まれています。これにより、安定した熱環境を提供すると同時に、化学反応による変動を最小限に抑えることにより、最大のリソグラフィ精度を保証します。APPLIED MATERIALS Raider ECD 310は、大量の製造および重要な設計アプリケーションに最適なツールです。業界をリードする解像度と露出精度を備えた超微細ジオメトリを作成し、世界最先端の回路を製造するための不可欠なツールであることが証明されています。