中古 ALTECH eCOAT #9222915 を販売中

ALTECH eCOATは、フォトマスクやその他のフォトレジスト加工のための完全なリソグラフィーソリューションを提供するように設計された高度なフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、光学産業向けの集積回路やその他のコンポーネントなどの複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されています。高度なリソグラフィ技術と正確なフォトレジスト露光アルゴリズムにより、ECOATは最も複雑なアプリケーションでも比類のないパフォーマンスを提供します。ALTECH eCOATは、単一のレシピで高精度のウェーハ露出を実行するように設計されており、複数のリソグラフィ工程を必要とする露出を調整することができます。この効率は、生産時間の短縮と歩留まりの改善につながります。直感的なユーザーインターフェイスにより、高精度のリソグラフィに必要な複雑なフォトレジストパラメータに簡単にアクセスできます。ECOATは、高度な照明システムと自動化されたステージ移動と露出データ取得を統合された1つのプラットフォームに統合します。このシステムはステッピングモーター制御ステージを備えており、手動システムで実現できるものよりも高い精度を提供します。このユニットは、異なるドウェル時間、用量、およびオーバーレイ位置での自動ウェーハ露出と組み合わせることで、リソグラフィープロセスの制御と精度を向上させます。ALTECH eCOATは、自動化されたプロセス制御によってさらに強化され、露出パラメータが一貫して再現可能であることを保証します。これにより、製造される各ウェーハと同じ高品質のリソグラフィ結果がユーザーに確実に提供されます。ECOATは、シールドチャンバーやファームウェアコントロールなどの安全機能も備えており、誤ったウェハの露出を防ぎます。ALTECH eCOATマシンは、信頼性とユーザーフレンドリーなリソグラフィーソリューションを探しているユーザーのための優れた選択肢です。高度なリソグラフィ機能と自動露出制御により、生産速度と精度の両方を提供します。直感的なデザイン、使いやすいグラフィカルインターフェイス、豊富な機能リストを備えたECOATは、高度なフォトマスクとフォトレジストの両方のアプリケーションに最適です。