中古 ALLTEQ L1600 #293748752 を販売中

ALLTEQ L1600は、半導体製造の厳しい要件を満たすように設計された高精度の自動フォトレジスト装置です。このシステムはコンパクトなフットプリントで設計されており、ウェーハスキャン、5倍減少スキャン、ダークフィールドスキャン、4倍減少イメージングリソグラフィなど、多数のアプリケーションに対応する幅広い軸外照明ツールを提供しています。L1600装置は最先端のCCDデジタルイメージングマシンを採用しており、高速かつ高精度な画像データの取得が可能です。このツールには、ウェハ位置監視、温度制御、オートフォーカス機能のフルスイート、およびさまざまなリソグラフィパターン、プロジェクトモード、およびソフトウェア制御機能のオプションも含まれています。このアセットは、¼〜µm〜4 µmの幅広い露光解像度と、DOF （Dynamic Depth of Focus）コントロールµm提供します。また、6インチウェーハの製造プロセスを容易にするために、高コントラストイメージングと高解像度、高精度エッチング機能を提供します。また、4つの大口径設計目標を備えており、広範囲の波長で最大0。3 µm DOFを提供できます。さらに、このシステムは複数の画像処理および画像強化アルゴリズムと完全に互換性があり、複数のアートファイルと複数の露出ヘッドを同時に制御することができます。最後に、ALLTEQ L1600には、化学反応器と関連するランプの両方を自動的に校正できる高度な校正技術が組み込まれており、プロセスの迅速な最適化が可能です。統合されたスキャンユニットは、プロセス全体にわたって副波長精度のリアルタイムフォーカス監視を提供し、製造プロセス中の貴重な時間とリソースを節約します。