中古 AIR BROWN SPD160RN #9258130 を販売中

AIR BROWN SPD160RNフォトレジスト装置は、現代の光学リソグラフィーシステムで優れた性能を発揮するように設計された自動システムです。高解像度で高精度なレジスト層を提供し、マスク設計とパターンの比較に使用でき、要求の厳しい高度な集積回路（IC）製造プロセスに使用できます。このフォトレジストユニットには、高度な基板搬送段などのフォトレジスト層材料と装置の高度で包括的なセットが組み込まれています フォトレジストマシンにおけるウェーハの正確な制御とアライメントを可能にする（ASTS）と、高度なフォトレジストデリバリツール ICデバイスの信頼性の高いパターニングのための一貫した正確なレジスト層を提供することができる（ADDS）。SPD160RNフォトレジスト資産には、優れたスルースペース露光性能と信頼性を確保するために、多くの専門技術が組み込まれています。高速クリーニング技術（HCT）をはじめ、高速クリーニングを低コストで実現する高精度オーバーレイ技術（HOT）や、高精度なパターンや機能を実現するレーザーアライメント技術（LAT）など、高精度なアライメント操作を高速かつ高精度に行う先進的な機能を搭載しています。さらに、最適化された形状マッチングおよび自動補正アライメント機能（OMAC）を搭載し、フォトレジストパターンの精度を向上させます。さらに、このフォトレジスト装置は、光学レンズシステムを使用して、光が各ピクセルで最大輝度を確保し、各露光でより高い精度と均一性を提供します。また、光学パラメータの制御を改善し、要求の厳しいフォトリソグラフィ用途において優れた解像度を実現します。また、フォトリソグラフィープロセスを効率化するために設計された高度なモデリングスイート（AMS）や、パターン品質を自動的にチェックして欠陥を検出する高度なパターンパフォーマンスモニタリングユニット（APPM）などの高度なリソグラフィーツールとソフトウェアを搭載しています。機械の他の機能には、高速アライメントプロセス、パターン精度を向上させる最適化アルゴリズム、およびナノメートルスケールで正確なパターン生成を保証するフレキソLIGA対応サポートがあります。結論として、AIR BROWN SPD160RNフォトレジストツールは、その包括的な機能と技術を備えた光学リソグラフィーシステムで優れた性能を提供するように設計されています。その先進的な材料、機器、ソフトウェアは、ICデバイスの信頼性と正確なパターニングを提供するフォトレジスト層を提供するだけでなく、要求の厳しいフォトリソグラフィーアプリケーションのための優れた解像度と均一性を提供します。