中古 AIO / RITE TRACK SVG 90 #293775031 を販売中
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ID: 293775031
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer system, 6"
FTC Cabinet
Main power GP Cabinet
SVG GUI Rack controller cabinet
SVG Chemical cabinet
Chemical waste tank
Wafer centering module
(2) Coat modules
(2) Develop modules
(2) Load ports
HMDS Module
(3) Bake oven modules
(4) Chill plate modules
Qty / Description
(16) / Shuttle bearings, SVG, linear 200-595
(4) / Belt timing SVG Dev dispenses ARM 6B16-37
(3) / Tebr cables chain,4MM Pitch 1.2O PD
(4) / Cable chains, 103 Pitch (Belt) 204-020
(2) / Spin station boards
(1) / Thermalogic temp control board / 121-180
(1) / Shuttle interface board 99-80267-01R
(1) / Assy, thermo cutoff 99-23226-01
(1) / Motor, random shuttle drive 99-45467-01
(1) / Motor gear harness 99-47222-01
(1) / Marathon motor mod 5KH32GNB811AX
(1) / Motor, spindle, 90S air assist 27-66286-01
(1) / Sensor, cassette
(3) / RTD, 3 Wire 1/8 sheaths
(5) / Optical sensor transmissive 0.512 (13MM" Z3204-ND
(4) / PCB Assy, 80158 Single sensors SVG 99-80158-01
(1) / Cybor pump controller 506A
(2) / Hot bake temp controllers
(4) / 24 VDC Solenoid 114-1003
(4) / 24 VDC Solenoid 50 PSI 99-38539-01
(3) / Sprng, tors .048X270DEG 2.5IN LBS 211-150
(4) / Exhaust tube poly-bake 9.5 13287-01
(2) / Chuck, 90, Coater, 8"
(2) / 21190-01
(4) / Kit, flowmeters 17-76280-01
(2) / Nozzles 2257-01
(2) / Cassette end station vacuum blades, short
(3) / PIN, Centering devices 20770-01
(4) / PIN, Supporting 20769-01
(2) / Cassette shuttle vacuum blades, LONG 99-41467-02
(19) / Fuses 500 MA F2450-ND
(1) / Vacuum bake thermocouple 121-208
(2) / Top side EBR Motor harness tebr 99-39825-01
(3) / Cybor 5116 pumps
(2) / Procon pumps 105C240F51BD
(1) / Flow meter 65MM EBR 1350GAL1AKFF1AAA
(8) / Boat, entegris (8") K198-80MB-97C02
(4) / Solenoid valve assembly 99-23062-01
(3) / Vacuum solenoid, 24VDC 114-088
(4) / KIT, Humphrey valves, 4WAY, 2POS, 24VDC 17-77246-01
(1) / Power supply board 99-80268
(4) / Cable chains, 88 pitch 204-021
(3) / 24 VDC Solenoid 2WAY VALVE 114-102
(1) / SCR Power controller
(1) / Hygroclip HC2-S standard climate probe
(1) / Spindle motor controller 99-38892-01
(1) / Spindle motor controller 99-38891-01
(2) / Serial arm full assemblies 99-38154-02
(2) / Motors DC Servo 75V 1.5A 112-083
(2) / Pistons 203-148
(1) / Keyboard 90S CES 85-48094-01U
(1) / Chamber LID VP/VB/HPO
(1) / Rotronic humidity transmitter
(1) / Assy, LCD Display 99-41844-01
(1) / PCB Assy,vacuum sensor 99-80170-01
(6) / Stations CPU BD 80166F.
AIO/RITE TRACK SVG 90は、半導体製造業界で重要な役割を果たしている高度なフォトレジスト機器です。ウェーハ基板上のフォトレジスト材料の高精度で信頼性の高いパターニングを実現し、高精度・高解像度の複雑な半導体デバイスの製造を可能にします。AIO SVG 90は、半導体製造に関わる複雑なリソグラフィープロセスをサポートするために、さまざまな先進技術と機能を統合しています。RITE TRACK SVG 90ユニットの主要コンポーネントの1つは、ウェーハ表面にフォトレジスト材料を分配、コーティング、ベーキング、開発するトラックモジュールです。トラックモジュールには複数のスピンコーターが装備されており、さまざまな厚さのフォトレジストフィルムの均一で制御された成膜が可能です。また、コーティングされたウェーハをベーキングおよび冷却するためのホットプレートとチルプレートを備えており、最適なフィルム特性と密着性を保証します。SVG 90ツールは、高度な自動化技術とロボティクス技術を組み込み、フォトレジスト処理ワークフローを合理化し、生産効率を最大化します。アセットには、高精度のアライメントと位置決めメカニズムが装備されており、複数のリソグラフィ工程の正確なオーバーレイと登録を保証します。このレベルの自動化は、製造プロセスにおけるヒューマンエラーと変動を低減し、歩留まりとデバイス性能を向上させるのに役立ちます。さらに、AIO/RITE TRACK SVG 90モデルは包括的なソフトウェアスイートを備えており、ユーザーはリソグラフィ処理のさまざまなパラメータをプログラムして制御することができます。このソフトウェアは、スピン速度、分配量、焼成温度などの重要なプロセス変数をリアルタイムで監視および調整し、最適なフォトレジストパターニング結果を得ることができます。さらに、この装置は、品質管理とトレーサビリティを目的とした詳細なプロセスレポートとデータログを生成することができます。パフォーマンス面では、AIO SVG 90システムは高いスループット機能を備えており、大量のウェーハを迅速かつ効率的に処理できます。このユニットは、厳格なプロセス制御と一貫性が品質基準と生産目標を満たすために不可欠である大量の半導体生産設備の厳しい要件を満たすように設計されています。RITE TRACK SVG 90は、サブミクロン特性の高解像度パターニングを実現し、複雑な形状を持つ高度な半導体デバイスの製造を可能にします。全体として、SVG 90は最先端のフォトレジストマシンであり、半導体メーカーが最先端の半導体デバイスを製造するためのフォトレジスト材料の正確で信頼性の高いパターニングを実現することを可能にします。AIO/RITE TRACK SVG 90は、高度な技術、オートメーション機能、性能特性を備え、半導体技術とイノベーションの継続的な発展を可能にする重要な役割を果たしています。
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