中古 AIO 603-4 Sonic Fog #9124425 を販売中

AIO 603-4は、ソニケート社のフォトレジストシステムのバリアントであり、研究環境における高品質のリソグラフィ用に設計されています。10nmまでの極めて小さな線幅で精密な機能を生成することができ、MEMSやディスプレイなどのアプリケーションでサブミクロンパターニングに使用することができます。このユニットには、248nmの波長で発するレーザー源が含まれています。レーザーはフォトレジストの露出を制御するために非常に高速でシャッターを切られます。レーザーは、異なる波長と強度の複数のパスを可能にするように変調され、ユーザーはパターン化された領域の解像度を最適化することができます。また、非常に低いエネルギー露出パターニングが可能で、非線形パターニングが可能で、大きな特徴をより強度の高いパターンにすることができます。AIO 603-4には基板板に反射防止コーティングが施されており、レーザー光線の散乱を低減し、ビームを集中させ、線幅を狭くするのに役立ちます。AIO 603-4には、レーザー源に関して基板を配置するために使用される精密Zステージも付属しています。これは、レーザービームが正確に基板と整列して、正確で再現性のあるパターンを確保するために使用されます。このユニットには、フォトレジストを露出して開発するための自動システムが装備されており、リソグラフィープロセスを迅速かつ正確に維持するのに役立ちます。開発・剥離機能により、マニュアルクリーニングを必要とせずに基板上に複数のパターンを開発できます。結論として、AIO 603-4 Sonic Fogは、研究環境で高品質のリソグラフィに優れたパターンを提供します。ライン幅が極めて小さい機能や、露出を自動化してシステムを開発できるため、サブミクロンパターニングが必要なアプリケーションに最適です。