中古 AEROTON Aero 886 #9273222 を販売中

AEROTON Aero 886は、半導体やその他の集積回路の製造工程におけるダイのエッチングに環境に優しいソリューションを提供するフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジスト技術に基づいており、感光材料の薄い層を基板に適用し、紫外線を照射する方法です。Aero 886の場合、フォトレジスト技術は窒素充填チャンバーで行われ、酸化の損傷を軽減します。ユニットは、チャンバー内に配置されたウェーハキャリアのセットを使用します。ウェーハをチャンバーに移し、窒素ガスを注入して酸化レベルを下げます。必要な真空レベルに達すると、ウェーハに「ブロック層」が適用され、高強度の紫外線光源にさらされます。これがプロセスのエッチング段階です。エッチング工程では、フォトレジスト層が紫外線にさらされ、ウェハ表面にパターン化された画像が作成されます。これは、エッチング前に機械にプログラムされた設計情報を含む特別なテンプレートを使用して実現されます。UV光がウェーハの上を通過すると、フォトレジスト層はテンプレートパターンに応じて露出またはブロックされます。希望のデザインパターンを基板にエッチングし、微細な線とマイクロマーキングと呼ばれる点の細かいパターンを生成します。望ましいパターンがエッチングされると、ツールはウェーハの表面に少量の窒素ガスを渡して、フォトレジスト層に干渉する可能性のある余分な材料をきれいにします。これにより、交換フォトレジスト層が適用されると、新しいパターンはタクトのままになります。全体として、AEROTON Aero 886は、微細なパターンをさまざまな用途の基板にエッチングするための効果的で効率的なソリューションです。窒素充填チャンバーは、酸化による損傷を解消し、高輝度の紫外線は正確なマイクロマーキングを生成し、精密エッチングと高品質の最終製品を可能にします。