中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #9358969 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802は、ステップアンドリピートフォトレジストなどの薄膜高分子材料の高効率リソグラフィ処理を提供するために特別に設計されたフォトレジストシステムです。薄膜感光性ポリマーを高精度露光制御で堆積させることができ、スピンコーティング速度とトラックアングルを幅広く提供します。ASSI SV-802マシンは、フォトレジストパターニング、パターンレプリケーション、ウェーハ転送などのレプリケーション処理もサポートします。このツールの高効率リソグラフィープロセスは、精密部品レベルのスピンコーターによって達成されます。このスピンコーターは、一度に最大4つの基板を取り付けることができ、均一なスピンコーティングのための大量の精密ギヤ駆動モーターを備えており、精密露出制御を提供することができます。スピンコーターはまた、繰り返し可能で一貫したコーティングプロセスを確保するために、最新のPLCによって制御されています。アセットはまた、異なる特性とコートの厚さを持つ複数のポリマーを堆積することができます。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-802の高度な画像制御ゲートは、最大200nmの解像度で基板を正確に処理できます。さらに、装置の複数の露光源、精密なカウンター、およびエッジ登録デバイスは、高い精度、再現性、および速度を提供します。SV-802システムはまた基質の裏側プロセスか部分的な適用範囲に使用することができる独特な裏側の洪水の露出の単位が装備されています。ユニットは、基板の所望のパターンを正確に整列して解決することもできます。ADVANCED SPIN Machine INC/ASSI SV-802の先進的な機能により、レジストコーティングから複製まで、薄膜リソグラフィ加工プロセスのさまざまなステップに最適です。半導体製造、有機・無機薄膜製造、液晶デバイス製造など幅広いプロセスに最適です。豊富な機能と正確で正確な結果を備えたASSI SV-802は、強力で信頼性の高いフォトレジストツールです。