中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #293656814 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802は、コートを回転させ、幅広い基板上でレジストを開発するフォトレジストシステムです。このユニットは、0。5ミクロン未満の均一な厚さのさまざまな表面にフォトレジスト材料をコーティングすることができます。フォトレジスト材料を調整速度で目的の基板に適用する均一なスピンフロー技術を使用しています。これにより、開発中に均一な抵抗が保証され、反復可能で一貫したパフォーマンスを提供します。このマシンは、最大2000RPMの調整可能なスピン速度を備えた高性能スピナーヘッドと、0-50mL/minのスピン範囲を備えています。また、調整可能な流量と均一なスピンカバレッジパラメータが付属しています。精密な制御のために、それは調節可能な回転速度およびタイミングパラメータを提供し、精密な抵抗の沈殿のための1分単位でプログラムすることができます。フォトレジスト素材をスピンナーヘッドに直接注ぎ、一定の流量のために特別なポンプで加圧します。スピンヘッドは基板にクランプされ、プログラム可能な速度で回転します。これはまた、フォトレジストが表面全体に均一に適用されることを保証します。RESI-Trackソフトウェアは、迅速な管理と開発プロセスにも含まれています。これには、高速アライメントのためのプログラム可能なビジョンキー、統合されたアライメント補助機能を備えた調整可能なバックライト、および統合された高解像度イメージングが含まれます。ソフトウェアはまた、高度なイメージングおよびスキャンツールの範囲と互換性があり、ユーザーにアプリケーションを微調整した制御を提供します。このツールは、長期的な使用のために設計されており、焼く温度、焼く時間、オーバーコート時間、硬化温度など、さまざまな品質管理設定を備えています。それはまた利用できる最も長い生命および最もよい性能を保障する過熱および短絡の保護が装備されています。ASSI SV-802フォトレジストアセットは、フォトリソグラフィ、エッチング、およびその他の微細加工プロセスに最適です。フォトレジスト素材の非常に薄く均一なコーティングを提供し、迅速かつ正確なセットアップのために設計されています。それはコーティングを精密に制御し、沈着に抵抗するための大きい解決です。