中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397635 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、商用フォトリソグラフィープロセスで使用するために設計された高度なフォトレジストシステムです。多軸スピナーと高精度画像注入のロータリーテーブルを搭載し、高精度で再現性の高い解像度を実現しています。幅広いフォトレジストで使用できるように設計されており、サブミクロン分解能でパターンを達成することができます。スピナーは最高速度20,000rpmの高速モータを採用し、最大直径550mmの様々なスピナーを回転させることができます。スピナーは正確なスピン時間と減速制御を提供し、フォトレジストの損傷を最小限に抑えて再現性のある結果を保証します。スピナーには、スピン時間を短縮しコーティング時間を短縮する真空チャンバーも装備しています。ロータリーテーブルには、スピナー内のウェーハの正確なアライメントを可能にする統合インデックスマシンが装備されています。このテーブルは、最大回転速度120 rpmでウェーハを回転させることができ、1回のスピンで最大48のインデックス番号を生成することができます。また、コーティング過剰を防止するオートストップ機能も備えています。フォトレジストツールには、再現可能な画像投影用の精密画像インジェクション資産が装備されています。一連の高精度レンズと、微細構造の正確な露出を可能にする強化レーザーモデルを備えています。マシンはまた、バッチと単一の露出プロセスの両方を達成することができます。ASSI SV-702は、商業用および産業用フォトリソグラフィのニーズに適しています。これは、高度な機能と優れた解像度を備えた信頼性の高い再現性と効率的なフォトレジスト機器をユーザーに提供します。