中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9258041 を販売中

ID: 9258041
Spin Rinse Dryers (SRD).
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、リソグラフィ技術を向上させるために設計された強力でユーザーフレンドリーなフォトレジストシステムです。フォトレジストは、半導体などの電子部品の製造に使用される光感受性材料です。ASSI SV-702は、シリンドリカルチャンバー内のヘッドスピニングユニットを使用して、ウェーハなどの基板表面にフォトレジスト材料を高解像度で均一に堆積させます。このマシンは、最大20,000RPMまでの複数の回転速度と、直径300mmまでの基板を処理する能力を提供します。さらに、基板をスピニングテーブルに個別に積み込み、確実に所定の位置に保持し、指定されたステーションに迅速かつ効率的に輸送することができます。正確な回転力制御メカニズムは、不規則な基板形状にもかかわらず均一なコーティングを保証します。ADVANCED SPIN Tool INC SV-702は、プロセスを監視および制御するための洗練されたソフトウェアも提供しています。基板のプリアライメント、資産圧力制御、スピン速度およびタイマー制御、および欠陥認識機能を提供します。これにより、ユーザーは将来の使用のために処理条件とプリセット値を保存することができます。高品質な結果を得るために、スピニングテーブルの動きを測定するためのレーザー干渉計と、完全な品質管理のためのパフォーマンスデータ分析装置が装備されています。このスピンシステムには、低温および高温の両方の動作のためのオンボードドライヤが含まれているため、フォトレジスト材料が均一に適用されます。全体的にSV-702は革新的なフォトレジストユニットで、ユーザーに使いやすく効率的でありながら、解像度と均一性を向上させます。そのレーザー干渉計、パフォーマンスデータ分析機、オンボードドライヤーはすべて優れた結果を保証し、優れたリソグラフィ結果を求める人に最適です。
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