中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #293601652 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム




ID: 293601652
ウェーハサイズ: 2"-6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 2"-6"
Electro-polished stainless chamber
Maximum speed: 2,800 RPM
Rinse and dry time: 0-9999 sec
On-Board N2 Heater
N2 Filter
Anti-static cell
Resitivity Monitor (RM)
SDC-01 Controller
Door seal lock
Thermo sensor
Pressure switch
Human Machine Interface (HMI)
Pre-heat N2 setting
Throughput: 300-2400 Wafer an hour (2")
Uptime: >95%
Option:
Manual door
EPO Emergency off switch.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、ミッションクリティカルなコンポーネントを処理する際に比類のない精度とパフォーマンスを提供する最先端のフォトレジストシステムです。本機は、フォトリソグラフィを用いて正確にパターン化できる超薄膜フォトレジストの自動蒸着を提供するように設計されています。スピンナモーター、ウエハアライメント機能、高解像度デジタルディスプレイにより、スピンコーティング工程におけるフォトレジストの応用を正確に監視します。このユニットには、DIおよびDC spiirソースのフルレンジが装備されており、各ユーザーの正確なニーズを満たす完全なカスタマイズが可能です。ASSI SV-702は、完璧な成膜とフォトレジストコーティングを保証するさまざまな機能を提供します。これらの特徴の1つは、ウェーハ表面にフォトレジストを正確に配置できる精密ウェーハアライメントです。この機械は偶然のずれのための機会を除去し、フォトレジストがウエハ表面に均一かつ正確に適用されることを保障します。このツールはまた、スピン速度の優れた制御を備えており、ユーザーは理想的なコーティングの一貫性を維持するための理想的なスピン速度を維持することができます。この機能により、フォトレジストがウェーハ表面に正確かつ均等に広がり、厚さ1ミクロン以内に正確にコーティングできます。さらに、ADVANCED SPIN Asset INC SV-702は、ウェーハ表面全体のコーティング内で優れた均一性を実現するように設計されています。これは、デュアルフロースピナーモーターを使用することによって達成されます。このモーターは慎重かつ均等に最適な速度でフォトレジストを回転させ、精密ラジエーターは均等に熱を分配します。これにより、フォトレジスト温度が均一なレベルで維持され、堆積厚の均一性が確保されます。このモデルはまた、幅広いフォトレジストとの柔軟性と互換性を提供します。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションに最適なフォトレジストを簡単に選択できます。SV-702は、高解像度のデジタルディスプレイを搭載しており、コーティングプログラミングの高精度化と可視化を可能にします。ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、ミッションクリティカルなコンポーネントを処理する際に比類のない精度と精度をユーザーに提供する最先端のフォトレジストシステムです。その高度な機能、広い互換性、高解像度のデジタルディスプレイは、フォトレジスト処理のニーズに最適なソリューションです。
まだレビューはありません