中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M2 #9156021 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M2は、最新のリソグラフィ技術のために設計されたフォトレジストスピンコーティングシステムです。このユニットは、スピンドルコーティングと薄くて厚いフィルムフォトレジストの開発において、再現性と信頼性の高い方法を提供するように設計されています。直感的な制御装置を搭載しており、使いやすくなっています。このツールは、スピンコーティングチャック、フォトレジストディスペンスモジュール、統合されたプラッタドライブなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。スピンコーティングチャックは、フォトレジストを基板上に均一に堆積させることができます。その保持容量は1"または2"の直径のウエハーから12"のウエハーまで及び、基質は薄くか厚く、堅くまたは適用範囲が広い場合もあります。フォトレジストディスペンスモジュールは、フォトレジストの高速ロードとアンロード、およびフォトレジストをスピンコーティングチャックに正確に分配するために設計されています。また、さまざまなタイプのフォトレジストに適した複数の貯水池オプションが付属しています。統合されたプラッタドライブは、高スループットのアプリケーションに必要な高速を提供します。それは正確で、反復可能な結果を保障するのに高度のトルク制御を使用します。このアセットは、スピンドルコーティングおよび開発作業の優れた性能と再現性を提供し、特に少量で高性能なアプリケーションに適しています。このモデルは、手動、半自動、または完全に自動化された本番環境向けに簡単に構成できます。コンパクトで使いやすく、アプリケーションの特定の要件を満たすためのさまざまなオプションを提供しています。さらに、装置は安全性を念頭に置いて設計されており、処理前に液体フォトレジストを完全に取り外すことができる遅延熱オプションが装備されています。ASSI SV-702 M2は、高品質のフォトレジストリソグラフィーデバイスの製造やフォトマスク編集に最適です。優れた性能、再現性、安全性を提供するように設計されており、さまざまなアプリケーションのニーズに対応することができます。