中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M2 #9155954 を販売中

ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M2
ID: 9155954
Spin rinse dryer (SRD).
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M2フォトレジストシステムは、ナノメートルスケールの特徴を持つ基板のリソグラフィ処理用に設計された次世代の微細加工ツールです。柔らかい「スピンオンガラス」技術を利用して、表面にさまざまな厚さの薄膜、光に敏感なフォトレジストコーティングを作成します。ASSI SV-702 M2は、ユーザーが特定の基板上のフォトレジスト層の厚さ、形状、サイズを正確に制御できる高精度のフルエンクロージャユニットです。これは、可変スピナー、調整可能な蒸着速度、および正確な露出チャンバーによって達成されます。これにより、ユーザーはあらゆる素材にナノスケール機能をパターン化できます。このユニットは、優れた品質の材料で作られており、独自のハードウェアとソフトウェアは、基板の表面特性の一貫性と再現性を確保するように設計されています。このソフトウェアを使用すると、自動自己検査機能を使用して、堆積フォトレジストの厚さを継続的に監視することもできます。ユニット内のスピンナブルホルダーは、スピンコートオンガラス加工用の基板を正確に揃えるように設計されています。これにより、サイズや形状に関係なく、表面全体に均一なフォトレジストコーティングが保証されます。さらに、ADVANCED SPIN UNIT INC SV-702 M2には、強力で拡張性のあるレシピライブラリが装備されているため、フォトレジストのコーティングを特定の基板に素早く調整することができます。さらに、様々な液体やその他の材料と互換性があるように設計されており、フォトレジストやその他の処理液を表面に精密に堆積させることができます。全体として、SV-702 M2はナノスケール加工用に設計された最先端のフォトレジストマシンです。高度な機能と精密な制御により、ユーザーは幅広い材料と互換性のある反復可能で均質な薄膜フォトレジストコーティングを実現できます。
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