中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 M2 #293650591 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 M2は、半導体ウェーハおよびサブミクロンレベル精度の基板の精密スピンコーティング用に設計されたフォトレジストシステムです。このユニットには、メインフレーム、フロントエンドコントローラ、上下スピンパンアセンブリ、ウェハキャリア、およびプリセットプロセスパラメータ用のサブミクロン精度スピンコーティングが含まれています。上部スピンパンは、困難な環境でも、高速でフォトレジストの沈着を正確に制御します。ポリエチレンの上の鍋は0。002mmまでの直径の滑らかな回転そして正確さを提供する精密軸受けアセンブリから中断されます。微調整ステッピングモータと一体化しており、精密な回転速度と均一なスピンコーティングが可能です。下のスピンパンは、フォトレジスト液体を正確に転送するように設計されています。3軸の設計により、蒸着経路を正確かつ微調整し、ウェーハの正確なカバレッジを可能にし、精密な制御を実現します。高精度ベアリングと高度なバックエンドコントローラにより、液体の蒸着を平面上および角度で正確に調整でき、フォトレジスト層の厚さと均一性を制御するのに役立ちます。ウェーハキャリアは、清潔さを保ちながら、ウェーハを安全に保持して搬送するように設計されています。強力で軽量なアルミニウムフレームと4つのコーナーラチェットにより、ウェーハが確実に固定され、ウェーハキャリアが本体に確実に取り付けられます。精密制御ソフトウェアは機械の容易なセットアップおよび調節を可能にし、自動化された、反復可能な操作を可能にします。グラフィカルユーザーインターフェイスと、スピン速度、スピン方向、上下スピンパンサイズの設定など、幅広いカスタマイズパラメータを備えています。ASSI SV-702 M2は、フォトレジストのスピンコーティングプロセスを正確かつ正確に制御します。サブミクロン精度の精密スピンコーティングを実現し、タイトパラメータをカスタマイズして一貫したコーティング結果を得ることができます。これは、半導体フォトレジストプロセスアプリケーションのための費用対効果が高く、信頼性が高く、正確なツールです。