中古 VISION SEMICON VSP-88H #9290575 を販売中

VISION SEMICON VSP-88Hは、高度な物理蒸着（PVD）プロセス用に設計された高温スパッタ蒸着オーブンです。これは、1000°Cまでの温度と材料の薄膜を堆積することができる高度な炉です。VSP-88Hは、金、銀、銅などの貴金属の薄膜蒸着や、半導体産業における幅広い用途向け材料の蒸着に適しています。VSP-88に均一な暖房のためのアーク溶接の技術を使用して製造される固体ステンレス鋼の仕事部屋が付いている円筒形のステンレス鋼ハウジングがあります。最大目標重量13ポンドの直径8インチまでのターゲットを保持するための電気駆動式リフティングプラットフォームを備えています。炉はまた、チャンバの精密な温度制御のための自動コントローラを備えています。ベースプレートを加熱したVISION SEMICON VSP-88Hは、リフトプラットフォームの直径10インチまでの基板の加熱および制御にも適しています。この制御された環境により、高さ、傾き、および回転調整が可能になり、正確なターゲットを基板アライメントに調整できます。VSP-88は、温度範囲、スパッタパワー、ガス流量、基板ジグソー、スパッタプロセス時間、およびその他のプロセスパラメータの制御を可能にする直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このコントローラには、過熱および低温アラートのアラーム機能、および危険な状態から保護するための熱安全インターロックが内蔵されています。オーブンにはダイヤフラム真空ポンプが装備されており、5 x 10-3 Torr以下の圧力レベルを維持でき、コンソールから調整可能です。また、高周波浮動電源を装備し、均一で高品質なフィルムで基板上に金、銀、銅スパッタを可能にします。全体として、VSP-88Hは技術的に高度な高温スパッタリング成膜オーブンであり、さまざまな材料基板上の薄膜の信頼性と一貫した成膜を提供するように設計されています。広い温度範囲と高度な制御機能により、反復可能で正確な薄膜PVDプロセスを実行するための効果的なツールです。