中古 VISION SEMICON VSP-88H #9122513 を販売中

製造業者
VISION SEMICON
モデル
VSP-88H
ID: 9122513
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Plasma cleaners, 8" Vacuum pump: 1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster Gas flow controller: Mass flow controller Internal chamber dimension: W 580mm x H530mm x D580mm Electrical power: 200 VAC, 3 Phase, 30A Loading capacity: (8) Magazines PC Based main control: Windows XP & C++ Language TFT LCD Touch screen Power source: RF Generator, 13.56MHz, 600W 2005 vintage.
VISION SEMICON VSP-88Hは、半導体製造業界で使用するために設計されたオーブン/炉です。それは卓越した温度の均等性および反復可能性の多目的で、堅牢な装置です。その温度範囲は最大1200°Cで、60°C/minプログラミングの調整可能なランプレートを備えており、高温からの迅速な回復時間を提供することもできます。VSP-88Hにはプログラム可能な自動制御装置があり、プロセス制御、品質保証、インテリジェンスデータの集計、データロギング用に設計されています。高度なPID補償システムを使用して、温度の均一性と再現性を維持します。また、実験の追跡と管理のための高度なソフトウェアが装備されています。VISION SEMICON VSP-88Hオーブン/炉の設計機能には、精密な熱制御を可能にする一連の堅牢で堅牢なレンガで構成されたデルタT技術が含まれています。また、全身断熱ユニットと安全のためのインターロック機を備えた低漏れ気密シールドアを備えています。また、VSP-88Hには、チャンバーの急速冷却を可能にする深冷ツールもあります。これにより、熱帯が極端に高温に達したときの熱衝撃を防ぎます。また、高度なタイマー資産、真空シールモデル、およびコンピュータ化された曲線をプロットするためのコンピュータ化された機器を備えています。VISION SEMICON VSP-88Hの設計は、高温の均一性と再現性を必要とするアプリケーションに最適な、精密で均一な加熱制御のための全波射出システムを備えています。オーブンには、有害な温度に達したときに電源をシャットオフする自動安全ユニットと、ユーザーがツールを制御し、事前設定されたレベル以上に温度が上昇した場合に手動でシャットオフすることができる手動の安全装置があります。結論として、VSP-88Hは半導体製造業界のために設計されたオーブン/炉です。高度な温度均一性と再現性、多彩な自動制御アセットにより、さまざまなアプリケーションで効率的かつ信頼性の高い使用が可能です。VISION SEMICON VSP-88Hは、高度なタイミングモデル、深冷装置、真空シールシステム、およびコンピュータ化されたプロットユニットにより、一貫した結果を保証するために必要なすべての機能を備えています。
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