中古 VISION SEMICON VSP-88A(H) #9263258 を販売中

VISION SEMICON VSP-88A （H）は、半導体デバイスや材料の商業用高温度処理用に設計されたオーブン/炉です。± 0。2°Cの温度安定性により、繊細なウエハやその他の材料の精密な熱制御を提供します。VSP-88A （H）には、低熱質量加熱チャンバーと低熱抵抗絶縁が装備されており、炉の内部全体の熱分布も可能です。暖められた部屋は高級なステンレス鋼から成り、長期耐久性および耐食性を提供します。温度は、最高0。1°Cの精度で、最適な熱調整を確保するために、デジタル表示によって監視されます。さらに、VSP-88A （H）は、最大のエネルギー効率のためのマルチゾーンヒーティングシステムを備えています。このマルチゾーン機能は、ホットスポットとコールドスポットを排除し、チャンバー全体に均一な温度分布を提供します。発熱体はモリブデン殺菌剤（MoSi2）で作られており、1200°Cまでの優れた温度安定性と均一性を提供します。VSP-88A （H）には、材料蒸着用のトップマウントクォーツマイクロバランス、および自動ウェハテープのローディングとアンロード用のシャフトドライブシステムが付属しています。そのユーザーフレンドリーなコントロールパネルには、プログラム可能な温度コントローラ、自動回復保護システム、および包括的な安全機能が装備されています。VSP-88A （H）は、基板の急速な熱処理、熱誘導クリーニングプロセス、酸化処理、合金化プロジェクトに最適です。高速応答時間と動的温度制御により、小規模から大規模な生産バッチまで、幅広いアプリケーションに不可欠なツールです。また、VSP-88A （H）は、均一な温度と優れた温度制御安定性で信頼性の高い連続動作を提供し、高温半導体加工に最適です。また、さまざまな加熱および冷却速度、ランプアップ/ダウン制御、プログラムの選択など、幅広いオプションを提供しています。全体として、VISION SEMICON VSP-88A （H）は半導体加工アプリケーションに最適なツールです。高度な機能、正確な温度制御、信頼性の高い動作により、優れたプロセス結果を効率的に保証します。