中古 VISION SEMICON VS-02CM #9278719 を販売中

VISION SEMICON VS-02CM
製造業者
VISION SEMICON
モデル
VS-02CM
ID: 9278719
Oven.
VISION SEMICON VS-02CMは、半導体製造プロセスにおける高温用途向けに設計されたオーブン/炉です。コンパクトなデザインで、標準サイズのツールキャビネットやワークステーションに簡単にフィットします。このオーブン/炉は真空プロセス、急速な熱処理および拡散の処置で使用されることができる多目的です。VS-02CMは、モリブデン殺菌剤で作られた特許取得済みの平面ヒーターを備えています。25°C〜1200°Cの連続動作温度範囲を提供し、目的の目標温度に応じて最大150°C/minの加熱速度を提供します。VISION SEMICON VS-02CMは、チャンバー全体に均一な加熱パターンのためのホットウォール設計も備えています。統合された水晶チューブは、処理中に必要な窒素、水素、酸素、または他のガスの計算された体積流量を提供します。マイクロプロセッサコントローラを使用すると、温度とガス流量の両方の設定をプログラムできます。立方反応チャンバーは、最適な温度均一性と制御を可能にし、温度プロファイルを調整および維持するためにコントローラによって監視されるフィードバックを提供するセンサーを備えています。VS-02CMの設計には、過熱時にユーザーに警告するパワーアラーム、過熱保護の調整可能な制限、オーブン/炉の動作中の誤りや異常を検出するための複数のセンサーなど、さまざまな安全機能が統合されています。さらに、ユニットの標準ロックフロントパネルは、ユーザーが無断でデバイスにアクセスすることを防ぎます。プログラムが容易で効果的で信頼性の高いVISION SEMICON VS-02CM炉は、半導体製造プロセスにおいて優れた熱処理プロセス制御を提供します。省スペース設計、Hot Wall技術、統合型水晶チューブの提供により、VS-02CMは、その性能を向上させるために探しているあらゆる半導体ウェーハ処理施設の必需品です。
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