中古 THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000 #293597792 を販売中
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ID: 293597792
ヴィンテージ: 2014
High temperature furnaces
Heating system power leads: Water cooled 350 MCM Size
Operating temperature: 2200°C
Hot zone operating temperature uniformity: ±2°C
Maximum change weight: 1000 Ibs
Vacuum level: 10 Torr
Horizontal
Front loading with motorized hinge front door
Automatic pneumatic clamping
Manual opening rear door
System frame / mezzanine suitable for clean room integration
Double wall water cooled stainless steel chamber
Doors and pump line
Metal shielded hot zone: Tungsten / Molybdenum shields
Diffusion pumped, 10"
With mechanical roughing pump
Water cooled inlet baffle
Technical:
Chamber materials:
304 L
Polished interior surfaces
Chamber ports:
Electrode ports: 24 on chamber, 3 on each door
Thermocouple and spare:
(18) NW16 on chamber
(2) Door
NW40 on pump line
Heaters: Tungsten mesh panels
Hot zone effective size: 16" x 16" x 36" (5+ cu ft)
Control system: Siemens PLC based
Heating zones:
(6) Top
bottom
(2) Sides
(2) Ends
Safety, Alarms, Interlocks:
Vacuum
Water flow
Air pressure
Over temperature
Single enclosure:
(4) 70 KVA transformers
(2) 35 KVA transformers
Thermocouples:
(6) Types C Control
Type C Over temperature
Vacuum gauge:
1000 Torr
Cold
Pump down (Clean and dry chamber):
45 Minutes to 5 m torr
Gas system:
(3) Circuits: Nitrogen
Argon
Hydrogen
With mass flow controller, VCR Connection
Cooling water circuit:
(24) Active
(3) Spares
With flow and temperature monitoring
Top zone 70 kVA with 10 and 12 volt taps
Bottom zone 70 kVA with 10 and 12 volt taps
Left zone 70 kVA with 18 and 21 volt taps
Right zone 70 kVA with 18 and 21 volt taps
Front zone 35 kVA with 15 and 18 volt taps
Rear zone 35 kVA With 15 and 18 Volt taps
UPS For emergency shutdown: 24 VDC, 20 A.
Diffusion pump power supply: 230 VAC, Single phase, 20 A
Mechanical pump power supply: 230 VDC, 3 phase, 10 A
Power supply: 350 kVA, 3 Phase, 6 Zone.
2014 vintage.
THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000は、セラミックスおよび半導体アプリケーションに比類のない汎用性を提供する次世代チャンバーオーブン/炉です。2000°Cまでの均一な熱暖房を提供し、最小限の熱応力で急速な冷却を可能にするユニークな空冷装置を備えています。オーブン/炉に全温度等熱プロフィールを渡る均一な熱分布を提供する特別に設計されていた部屋があります。これにより、各サンプルが正確な温度制御で加熱され、サンプルの熱応力を最小限に抑えながらプロセス結果を最適化できます。さらに、各アプリケーションの正確なニーズに合わせて温度の離散ゾーンを効果的に制御するために、正確なゾーニングが可能です。SAS-2000は高度PID制御が付いている精密なコントローラーを特色にします、それは延長温度較差中の正確で、安定したプロセス制御を保障します。Thermal Technology SAS-2000は、熱衝撃を効果的に低減し、敏感な部品の寿命を延ばす独自の空冷システムも提供しています。空冷の単位の設計は調節可能な温度調整が付いている空気冷却された送風機から精密な温度調整および精密な冷却率を提供するために成っています。SAS-2000オーブン/炉にまたバッチ和らげること、高温アニーリング、金属の合金化および多くのようなさまざまな適用のために前もって置くことができる発熱体の配列があります。暖房要素は最高の均一な暖房および精密な熱制御を保障する特別な専有機械と設計されています。暖房要素はまた延長オーブン/炉のアップタイムを可能にするために酸化に抵抗するように設計されていました。THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000は、包括的なリアルタイムディスプレイとプロセスパラメータの制御を提供する統合された高度なユーザーインター。この高度なインターフェイスにより、ユーザーはオーブン/炉とPIDプロセスパラメータをアプリケーションの特定のニーズに合わせて設定できます。また、オートチューニング機能を内蔵しており、オーブン/炉の設定を簡単かつ正確に調整できます。全体として、SAS-2000はユーザーに比類のないパフォーマンスと汎用性を提供し、正確な制御とパフォーマンスを提供します。このオーブン/炉は優秀な均一な熱分配、温度および冷却の正確な制御、また適用範囲が広い温度調整を提供することで優秀です。内蔵の高度なユーザーインターフェイスと高度なPID制御により、THERMAL TECHNOLOGY SAS-2000は正確で信頼性の高いアプリケーション結果を得ることができます。
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