中古 TERA SEMICON TERA300CA #9241992 を販売中

TERA SEMICON TERA300CAは、ダイヤモンド業界やその他の先進的な半導体市場におけるアニーリングおよびリフロー処理用の、実証済みのクローズドトレランス・コンベア炉です。TERA300CAは、優れた温度均一性と優れたオンステーション性能を備えた非常に効率的で高速なアニーリング炉で、最も要求の厳しいプロセス要件を満たします。TERA SEMICON TERA300CAは、ウェーハの並列処理と最適なスループット容量を確保するために、ツインコンベア設計を採用しています。ツインコンベアの並列プロセスにより、サイクルタイムが短縮され、デバイスのサイクルタイムが最大40％短縮されます。この装置は、同じ炉で承認されたウェーハの最大90％を処理し、高収率を一貫して生産することができます。TERA300CAはまた+/-5°Cの正確さの優秀な温度の均等性および制御を提供します。全体の放射熱システムはカスケーディングのヒーター制御が付いている5つの同心円のヒーター・リングの形で4つの独立して制御されたリング・ヒーターを利用します。これらの制御は最高の効率および精密な温度調整のために調節することができます。TERA SEMICON TERA300CAには、0。0008 mbarのガス流量制御を可能にする高精度の石英圧力トランスデューサも搭載±ています。TERA300CAはまた、機械の不規則性を検出し、オペレータに是正措置をとるように警告することができる自己診断ユニットを備えています。この自己診断ツールは、時間をかけてTERA SEMICON TERA300CAの最大の効率と優れたパフォーマンスを保証します。最適な動作温度を維持するために、TERA300CAには、実際の温度と設定された温度の両方を測定する熱電対を備えた温度バランス資産も含まれています。これにより、炉の製品が最高品質の基準を満たしていることが保証されます。TERA SEMICON TERA300CAは容易な取付けおよび維持のために設計され、顧客の必要性に合うために任意改善とカスタマイズすることができます。炉は容易に取付けることができ、最低の維持および修理を要求します。お客様がモデルを調整および校正するために、豊富な統合ツールとテストソフトウェアをご用意しています。TERA300CAは、機器故障時の安全を確保するサーマルシャットオフスイッチなどの安全機能も備えています。炉の外面カバーは熱漏れを防ぐために二重層になり、ユーザーおよび装置を高温からさらに保護するために任意ヒートシールドを選ぶことができます。TERA SEMICON TERA300CAは、半導体およびダイヤモンドアニーリング用の業界で承認された、効率的で信頼性の高いオーブン/炉です。コンベアの独特な設計、優秀な温度調整、限られた維持および統合された安全特徴はTERA300CAにあらゆるタイプのプロセスのための信頼でき、現実的なアニーリング炉を作ります。