中古 REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 #9050538 を販売中

REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400は、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの薄い誘電体層を作るために使用される半導体酸化炉です。800°Cから1400°Cまでの最高温度を均一かつ正確に達成することができます。デュアル周波数誘導加熱を使用しており、最適な処理温度に適した柔軟性を提供します。炉内の酸化雰囲気は窒素と酸素の組み合わせで構成されており、必要に応じて最大100％の窒素が利用可能です。この環境は、ユーザーの特定のプロセス要件に合わせて調整でき、効率的で再現性の高い処理を実現できます。ユニットは、温度制御の包括的な範囲が装備されており、正確な温度と均一な反復可能な結果を保証します。これらには、保存されたデータ用の最大4つのプロファイルプログラム、自動過熱保護システム、手動過熱保護機能を備えた完全にコンピュータ制御されたデータロギング機器が含まれます。さらに、この炉は、ウェーハの温度プロファイリングを卒業するために、さまざまなセクションを独立したオーブン制御することができます。統合された6段フィルターユニットは、炉の内部の大気が微粒子のないことを保証し、マイクロプロセッサ制御の空気圧モニタリングマシンは、大気の動的制御を可能にします。炉の生地は0。5インチの厚さで評価されます、熱損失を防ぎ、高温操作の下で炉の中の一貫した温度を、維持するために。この炉は、耐久性と耐食性の両方を兼ね備えた重量グレードのステンレス鋼で構成されているため、多くの産業用途に最適です。炉の内部で使用される不活性ガスは、プロセスガススイッチ（PGS）を介してチャンバーに供給されます。炉には、所望の加圧が達成されることを確実にするための空気圧モニターも含まれています。炉の制御モジュールには8。4インチのタッチスクリーンLCDディスプレイが装備されており、ユーザーはプログラムの設定と追跡、温度、圧力、ガスの混合などの制御パラメータ、およびプロセスの進行状況を監視することができます。USBポートは、データバックアップ、ツール診断、およびソフトウェアアップデートにも対応しています。インストールは、イーサネットまたはRS232/RS485/USBインターフェイスを使用して、リモートで制御することができます。全体として、REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400は半導体ウェーハの酸化と拡散に適した高度で高精度な炉です。柔軟な設計、包括的な制御資産、正確な温度監視機能により、あらゆる業界にとって重要なツールとなります。