中古 ACCUTHERMO AW 610 #9185462 を販売中

ACCUTHERMO AW 610
製造業者
ACCUTHERMO
モデル
AW 610
ID: 9185462
ウェーハサイズ: 2"- 6"
Rapid thermal processing system, 2"-6" Main frame with wires Pentium® class computer with LCD monitor, 17" Mouse and standard keyboard Aluminum oven chamber Water cooling passages Gold plating plates Door plate with TC connection port Isolated quartz tube without pyrometer window / with pyrometer window Oven control board Main control board Bottom and top heating with 21 (1.2kW) radiation heating lamp module (4) Bank zones: Top: Front and rear Bottom: Front and rear Quartz tray: 4" to 6" Round wafer / Customized Gas line with gas MFC without shut-off valve T-Shape quartz with qualified K-type TC Holder: 100°C-800°C Temperature measurement Thermocouple wires: (5) pcs Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec Maximum rate: 200°C Steady state duration: 0-300 sec/step Ramp down rate: 10°C to 200°C/sec Steady state temperature range: 150°C - 1150°C Maximum: 1250°C ERP Pyrometer: 450-1250°C With ±1°C accuracy Thermocouple: 100-800°C with ±0.5°C accuracy Temperature: Repeatability: ±0.5°C Uniformity: ±5°C across, 6" Gases used: N2 O2 Ar He Forming gas NH3 N2O2 Options: MFCs with extended gas Box and gas control board Carrier or susceptor: Small sample Transparent substrate Substrate with metal thin film on top Patented ERP pyrometer (400-1250°C) Non-contact high temperature sensor Chiller for ERP pyrometer Single point for pyrometer calibration Omega meter for pyrometer and thermocouple calibration Shutt-off valve for quartz tube Lamps cooling control Spare parts Type: Atmospheric RTP RTA Desktop Manual loading PC Controller with real time control technology Lamp heating: Top and bottom (21) Lamps (4) Lamp zones: 3 Phase (2) Lamp zones: 1 Phase Isolated quartz tube Gold plating plates: Top Bottom Front Rear Left Right Water cooled oven chamber Substrate size, 6" Substrate thickness: <7 mm Substrate material: Transparent Semitransparent Nontransparent Substrate shape: Round / Square / Abnormity Highest temperature: 800-1250°C Temperature sensor: TC Longest steady time @1000°C: 5mins Vacuum pressure control: No Chamber cooling: Maximum: 35°C Dew point: 3°C Pre-filtered water Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized Options: Temperature sensor: ERP Omega meter: CL23A Susceptor: Base and cover Gas line: 1 Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH) Gas line: 2 tot 4 Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH) Gas line: 5 to 6 Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH) Power : 1 Phase / 3 Phase 50/60 Hz AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V Amps: 70 / 100 CE Marked.
ACCUTHERMO AW 610は高温熱処理および実験室の適用のために設計されている電気オーブン/炉です。装置はいろいろな材料および部品の予備加熱、アニーリング、和らげることおよび同様の操作のために適しています。AW 610は、1100°Cの温度まで加熱することができ、ユーザーが現在プログラムまたは手動で調整したセットポイントまで、プロセスの温度を正確に制御することができます。また、不活性のための2つの独立した発熱体と酸化雰囲気を備えています。ACCUTHERMO AW 610は、熱を吸収して発熱体を保護する耐火材料の2つの側面を備えた高品質のステンレス鋼の内部チャンバーを備えています。部屋に2つの蝶番を付けられたドア、扱われるべき材料の容易なローディングそして荷を下すために容易に取除かれる内部のドアがあります。AW 610はユーザーおよび部屋に最高の安全を提供するために組み立てられます。それは炉の前部にリセットボタンが付いている過熱保護と、合います。また、2つのリミットスイッチがあり、チャンバーの上段に1つ、2つのリミットスイッチがあり、過熱または低レベルの条件の場合にはヒーターを停止します。このオーブン/炉にまたすべての制御および設定への容易なアクセスのためのタッチ画面LCD表示を含んでいる高度の制御システムがあります。それは働く温度、大気、ドウェル時間および他の変数に従ってプログラムすることができます。その他の機能には、強制冷却、真空ポンプ、インターロックシステム、安全ロックがあります。ACCUTHERMO AW 610は汎用性と信頼性の高い機器であり、特定の産業での実験室、研究、アプリケーションでの使用に適しています。高効率で正確な温度制御システムにより、あらゆる条件で優れた再現性のある結果が得られます。機器もリーズナブルな価格で、1年間の保証が付属しています。
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