中古 ACCUTHERMO AW 610 #9185462 を販売中
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ID: 9185462
ウェーハサイズ: 2"- 6"
Rapid thermal processing system, 2"-6"
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with TC connection port
Isolated quartz tube without pyrometer window / with pyrometer window
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 21 (1.2kW) radiation heating lamp module
(4) Bank zones:
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 4" to 6" Round wafer / Customized
Gas line with gas MFC without shut-off valve
T-Shape quartz with qualified K-type TC
Holder: 100°C-800°C Temperature measurement
Thermocouple wires: (5) pcs
Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-300 sec/step
Ramp down rate: 10°C to 200°C/sec
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
ERP Pyrometer: 450-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100-800°C
with ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±5°C across, 6"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Options:
MFCs with extended gas
Box and gas control board
Carrier or susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Patented ERP pyrometer (400-1250°C)
Non-contact high temperature sensor
Chiller for ERP pyrometer
Single point for pyrometer calibration
Omega meter for pyrometer and thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(21) Lamps
(4) Lamp zones: 3 Phase
(2) Lamp zones: 1 Phase
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 6"
Substrate thickness: <7 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000°C: 5mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Omega meter: CL23A
Susceptor: Base and cover
Gas line: 1
Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH)
Gas line: 2 tot 4
Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH)
Gas line: 5 to 6
Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH)
Power :
1 Phase / 3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 70 / 100
CE Marked.
ACCUTHERMO AW 610は高温熱処理および実験室の適用のために設計されている電気オーブン/炉です。装置はいろいろな材料および部品の予備加熱、アニーリング、和らげることおよび同様の操作のために適しています。AW 610は、1100°Cの温度まで加熱することができ、ユーザーが現在プログラムまたは手動で調整したセットポイントまで、プロセスの温度を正確に制御することができます。また、不活性のための2つの独立した発熱体と酸化雰囲気を備えています。ACCUTHERMO AW 610は、熱を吸収して発熱体を保護する耐火材料の2つの側面を備えた高品質のステンレス鋼の内部チャンバーを備えています。部屋に2つの蝶番を付けられたドア、扱われるべき材料の容易なローディングそして荷を下すために容易に取除かれる内部のドアがあります。AW 610はユーザーおよび部屋に最高の安全を提供するために組み立てられます。それは炉の前部にリセットボタンが付いている過熱保護と、合います。また、2つのリミットスイッチがあり、チャンバーの上段に1つ、2つのリミットスイッチがあり、過熱または低レベルの条件の場合にはヒーターを停止します。このオーブン/炉にまたすべての制御および設定への容易なアクセスのためのタッチ画面LCD表示を含んでいる高度の制御システムがあります。それは働く温度、大気、ドウェル時間および他の変数に従ってプログラムすることができます。その他の機能には、強制冷却、真空ポンプ、インターロックシステム、安全ロックがあります。ACCUTHERMO AW 610は汎用性と信頼性の高い機器であり、特定の産業での実験室、研究、アプリケーションでの使用に適しています。高効率で正確な温度制御システムにより、あらゆる条件で優れた再現性のある結果が得られます。機器もリーズナブルな価格で、1年間の保証が付属しています。
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