中古 ACCUTHERM AW 820 #9185471 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 9185471
ウェーハサイズ: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
ERP Pyrometer: 450°C-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100°C-800°C
With ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across an 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with touch screen monitor, 15"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
With water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with TC connection port
Isolated quartz tube without pyrometer window or with Pyrometer window
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 27 (1.2kW) radiation heating lamp module
(4) Bank zones
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 5" to 8" Round wafer / Customized
Gas lines with gas MFC with shut-off valve
T-Shape quartz with qualified K-type TC
Holder for 100°C-800°C temperature measurement
Thermocouple wires: (5)pcs
Options:
MFCs with gas control
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Patented ERP pyrometer (400-1250°C)
Non-contact high temperature sensor
Chiller for ERP pyrometer
Single point for pyrometer calibration
Omega meter for pyrometer and thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Stand alone
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800°C-1250°C/1500°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000 °C: 30 mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Omega meter: CL23A
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 820は、ガラス製造、エナメル加工、金属加工などのセラミック用途での使用を目的とした効率的な電気炉です。この炉は高度の絶縁材および温度の一定した保つのを助ける自動温度調整のために最高のエネルギー節約のために特に設計されています。この電気炉はステンレス鋼フレームから組み立てられ、炭化ケイ素コーティングされた鋼鉄内部およびステンレス鋼の外面が装備されています。また、鋼内部とステンレス外装の間には耐熱性レンガ製のライニングを備えており、熱と電気を遮断するのに役立ちます。この炉には、最適な温度条件で保管するための強制空冷装置も装備されています。AW 820は、エネルギー効率を確保するために優れた技術を使用しています。その最先端の電気制御システムは、その熱機能とエネルギー消費管理のすべてを管理します。この電気制御ユニットには、温度とエネルギー使用量を監視し、所望の作業温度を設定するために使用できるタッチスクリーンLCDパネルが含まれています。さらに、作業サイクルごとに所望の開始時間と終了時間を設定するために使用できる省エネタイマーが内蔵されています。ACCUTHERM AW 820は± 3°Cの温度の均等性の820°Cまで温度に達するように設計されています。0°C〜1100°Cの動作温度で設計されており、定格電力は18。4kW、 230V単相入力を備えています。AW 820は容易で、安全な操作のために設計されています。その不可欠な安全機能には、熱電対効果を活性化した安全装置、ならびに炉への不正アクセスを防ぐために設計されたスプリング式の安全インターロックが含まれます。さらに、メッシュドアには、開閉時に炉への電力を遮断するリミットスイッチが装備されています。炉には、安全でない動作条件にユーザーに警告するアラーム機も付属しています。ACCUTHERM AW 820は、最高のエネルギー効率、良好な温度均一性、優れた安全機能を提供する、エネルギー効率に優れた電気炉で、セラミックプロセスを必要とする操作に最適です。
まだレビューはありません