中古 ACCUTHERM AW 810V #9185474 を販売中
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ID: 9185474
ウェーハサイズ: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Vacuum pressure: 50m Torr to 13 Torr / 13 Torr to 760 Torr
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
K-Type TC temperature accuracy: ±1°C
Thermocouple temperature accuracy: ±0.5°C
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across a 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Door plate with TC connection port
Top and bottom quartz windows
Heating module with 28 (1.2kW) radiation lamps
(6) Bank zones control
Oven control board
Main control board
Quartz tray: 2-4" / 4-6" / 5-8" Round wafer
(2) Gas lines with gas MFC with shut-off valve
Main vacuum valve
Options:
Atmospheric process function
Vacuum pressure measurement and control function
Vacuum pump:
Mechanical
Dry
Multiple process gases
MFCs (Up to 4) with gas control board
K-Type TC assembly for high temperature
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Omega meter thermocouple calibration
Shutt-off valve: Quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Types:
Vacuum RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube: No
Gold plating plates:
Top and bottom in lamp module only
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate materials:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250/1500°C
Temperature sensor: TC, Special TC
Longest steady time @1000°C: 10mins
Vacuum pressure control:
50m Torr-13 Torr (Option) / 10-6 Torr
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating
Susceptor size: 4, 5, 6, 8, 4X4”, 5X3”, 16X2”
Base pressure: 50m Tor / 10-6 Torr
Options:
Omega meter: CL23A
Process gas lines with MFCs: 2, 3
Atmospheric function
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 810V炉は、高度な工業プロセスとアプリケーションの範囲のニーズを満たすように設計された強力な高温オーブン/炉です。AW 810Vは、作業室全体で均一な温度を確保するために空気循環法を利用した強制対流オーブンです。これにより、大型バッチまたは大型バッチの急速加熱が可能となり、中小バッチの効率的かつ正確な処理が可能となります。ACCUTHERM AW 810Vは、デュアルシェル低熱質量構造を備えています。これにより、優れた電力対温度比を維持しながら、最大2500°F （1371°C）の温度で動作することができます。AW 810Vはまた、機器の効率を最大限に高める省エネ設計を採用しています。大容量の発熱体を使用することにより、最大電力を保証し、ユーザーに迅速な回収時間を提供します。ACCUTHERM AW 810Vの空気の流れは完全に調節可能であり、ユーザーは空気速度を調整してアプリケーションに最適な熱環境を作成することができます。AW 810Vの内部の部屋は高級なアルミニウム化された鋼鉄から組み立てられます。これにより、処理される材料の完全性を維持しながら、温度の均質性と均一性を最大限に確保します。オーブンはユーザーがオーブンの内部構成をカスタマイズすることを可能にする調節可能な棚システムが付属しています。ACCUTHERM AW 810Vは、堅牢なドアアセンブリと、エネルギー廃棄物を削減し、オーブンの完全性を確保するユニークなシールユニットで設計されています。AW 810Vは、デジタル表示、タイマー、温度スイープなど、さまざまなユーザーフレンドリーな制御システムを備えています。温度調節機械は正確な温度調整を提供し、十分にプログラム可能で、ユーザーが温度のプロフィールを正確に再現することを可能にします。ユーザーはまた活動の容易なスケジューリングのためのタイマー制御および異なった部品の急速な、同時加熱のための温度の掃引を利用できます。ACCUTHERM AW 810Vの多くの機能に加えて、多くの安全機能も含まれています。AW 810VはUL-およびCEが承認しており、人員、機器、および処理される材料を保護するための多くの安全対策が含まれています。これらの安全機能には、過熱制御リレー、高温アラームツール、緊急停止などがあります。ACCUTHERM AW 810Vは、高性能で信頼性の高いオーブンや炉を必要とするさまざまな産業用途に最適なソリューションです。効率的な暖房機能と高度な安全機能を備えたAW 810Vは、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いオーブンまたは炉を必要とするユーザーにとって優れた選択肢です。
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