中古 XEI SCIENTIFIC Evactron 10 #9282963 を販売中

XEI SCIENTIFIC REQUTRON 10は、特殊用途向けの汎用性の高い精密ウェーハ加工装置です。超クリーンでパーティクルフリーウェーハ表面を残す高度な電子ビームプラズマ駆動洗浄技術を利用しています。直径200mmまでの生産能力を持つこの効率的なシステムは、最大限のウェーハ洗浄性能を提供します。エレクトロン10は強力な電子ビーム源を使用して、反応性の高いイオン化アルゴン粒子を生成し、2段階のフィルターを連続して通過することで、乾燥したプラズマベースの洗浄プロセスを実現します。電子ビームにさらされると、粒子はアルゴンイオンクラスターと非イオン粒子の荷電混合物を形成し、洗浄剤として機能し、物理的な接触なしにウェーハの表面から汚染を貫通および除去します。典型的な汚染物質には、酸化物、窒化物、炭化物、およびフォトレジスト残基が含まれる。XEIの科学的な避難10は容易な操作および簡単な維持を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、操作パラメータを迅速に設定でき、メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。さまざまなチャンバー、ノズル、ソースの組み合わせで構成することができ、ユーザーはアプリケーションで最適なパフォーマンスを得るためにマシンをカスタマイズすることができます。標準的なウェーハクリーニングに加えて、ウェーハテクスチャリングやエッチングなどの追加工程にも使用できます。高速かつ小型のフットプリントにより、さまざまなウェーハ処理作業に最適です。XEIの科学的な避難10用具は安全およびクリーンルームの両立性の現在の標準に従うために造られて非常に信頼できます。それは均一な欠陥なしの結果のための大量の生産の条件を満たすように設計されています。XEI SCIENTIALの高度な技術、堅牢な構造、費用対効果の高い設計により、特殊洗浄アプリケーションに最適です。